핑거 유닛
광학·반도체 부품의 미세화에 대응하여 1mm 이하 핸들링이 가능한 초음파 모터 구동 정밀 핑거. 오픈 제어, 고분해능 인코더 탑재 클로즈 제어, Z축 일체형 등을 제공.
특징
- 1mm 이하 미세 부품 핸들링
- 오픈/클로즈 제어 선택 가능
- 추력 50gf · 보지력 150gf 달성（FDUT/FSDUT 시리즈）
- Z축 일체형 모델（FLGUT70/ZLGT70）
핑거 유닛 라인업
TULA50 4개를 사용한 보지력 UP 모델 (FDUT50), 강성을 높인 스테이지 타입 (FSDUT50), 리니어 가이드+Z축 (FLGUT70/ZLGT70).
FDUT50-030
FDUT50-037
FSDUT50-060
FSDUT50-067
FLGUT70-035 / ZLGT70-060
핑거 유닛 사양
| 모델 | FDUT50-030 | FDUT50-037 | FSDUT50-060 | FSDUT50-067 | FLGUT70-035 |
|---|---|---|---|---|---|
| 최대 개구 스트로크 | 3mm | 3mm | 6mm | 6mm | 3mm |
| 핑거 암 길이 | 16.2mm | 16.2mm | 17.2mm | 17.2mm | 16.8mm |
| 제어 | 오픈 | 클로즈 | 오픈 | 클로즈 | 클로즈 |
| 분해능 | - | 0.1μm | - | 0.1μm | 1μm |
| 반복 위치 결정 정밀도 | - | ±3 펄스 | - | ±3 펄스 | ±3 펄스 |
| 추력 | 50gf | 50gf | 50gf | 50gf | 20gf |
| 보지력 | 150gf | 150gf | 150gf | 150gf | 70gf |
| 가반 중량 | 15g | 15g | 15g | 15g | 10g |
| 중량 | 14.8g | 16g | 23.8g | 25g | - |
Z축（FLGUT70-035 용）
| 항목 | ZLGT70-060 |
|---|---|
| 스트로크 | 6mm |
| 제어 | 오픈 |
| 추력 | 30gf |
| 보지력 | 125gf |
| 중량 | 24.6g |