Z-Θ
Z축(직선축)과 θ축(회전축)을 일체형으로 한 리니어 액추에이터입니다. 샤프트에 진공 라인을 갖추어 부품을 흡착 반송할 수 있습니다. 각 축에 당사 광학식 인코더를 탑재하여 고속·고정밀을 실현. 전자 부품 등의 미세 부품을 흡착하여 필요한 회전각으로 정확히 위치 결정하는 픽&플레이스에 최적.
특징
- Z축과 θ축 일체형
- 배큠 라인 탑재
- 광학식 엔코더 탑재
- 고속 Pick & Place
Z-θユニット仕様
Z軸にはリニアモータ、θ軸にはコアレスACサーボモータを搭載。各軸に弊社製光学式エンコーダを搭載し高速かつ高精度を実現。電子部品等の微細部品を吸着して必要回転角へ正確に位置決めするピック＆プレースに最適。
ZLRシリーズ（Z軸＋θ軸）
| 項目 | ZLR45-15 | ZLR25-15 | ZLR20-8.8 |
|---|---|---|---|
| 本体サイズ (H/D/W) | 216.4/83.5/15.0mm | 196.4/83.5/15.0mm | 145.5/70/8.8mm |
| 重量 | 570g | 520g | 260g |
| 可動部重量 | 150g | 150g | 80g |
| 電源 | DC24V | DC24V | DC24V |
| Z軸ストローク | 45mm | 25mm | 20mm |
| Z軸分解能 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm |
| Z軸位置決め精度 | ±3pls | ±3pls | ±3pls |
| Z軸最高速度 | 1.5m/sec | 1.0m/sec | 300mm/sec |
| Z軸加速度 | 5G | 5G | 2G |
| 先端振れ | ±15μm | ±15μm | ±15μm |
| 回転分解能 | 0.005° | 0.005° | 0.005° |
| 回転位置決め精度 | ±3pls | ±3pls | ±3pls |
| 最大トルク | 0.07mN·m | 0.07mN·m | 40mN·m |
| 最大回転数 | 7000rpm | 7000rpm | 2000rpm |
ZLAシリーズ（Z軸のみ）
| 項目 | ZLA25-9 | ZLA12-15 |
|---|---|---|
| 本体サイズ (H/D/W) | 144.5/62.5/9mm | 165/55/12mm |
| 重量 | 200g | 240g |
| 可動部重量 | 50g | 120g |
| 電源 | DC24V | DC24V |
| Z軸ストローク | 25mm | 120mm |
| Z軸分解能 | 0.1μm | 0.1μm |
| Z軸位置決め精度 | ±3pls | ±3pls |
| Z軸最高速度 | 200mm/sec | 200mm/sec |
| Z軸加速度 | 3G | 3G |
| 先端振れ | ±15μm | ±15μm |