초음파 모터
TULA — 초소형 초음파 모터
일반적으로 액추에이터는 전자식·유체식(공압·유압)이 주류이지만, 최근 새로운 초음파 모터가 등장하여 산업용을 비롯해 디지털카메라·휴대전화 등 모바일 액추에이터에도 채용되고 있습니다. 당사가 제공하는 초소형 초음파 모터는 한국 Piezoelectric Technology Co., Ltd의 연구개발로 제품화된 것으로, 당사가 개발한 초소형 고분해능 인코더와 결합한 각종 스테이지·드라이버·컨트롤러로 미세 구조의 고정밀 자동화를 실현합니다.
TULA 특징
- 축의 자기윤활 작용으로 가이드축 겸용 가능
- 재료·접착재 변경으로 진공 (10⁻⁵Pa) 환경 실적 있음
- 비자성 재료로 구성 가능, 강자기장 환경에서도 구동
- 구조가 심플하고 부품 수가 적어 양산 시 비용 절감 가능
- 다이렉트 기구에 의한 높은 기계 응답성 (진동 → 동작)
- 정지 시 마찰력으로 완전 정지 (무진동·무발열)
- 구동음이 작음
- 무통전 시에도 보지력이 높음
- 감속기 없이 저속·고추력·경량화 실현
TULA 구동 원리
TULA는 유니모프 또는 바이모프형 압전 세라믹의 진동 제어에 의한 차세대 초소형 리니어 액추에이터입니다. 구동축 근부에 고정된 압전 세라믹이 진동하며, 왕복 운동의 속도 차를 이용해 마찰체(이동체)를 미세하게 이동시킵니다. 관성의 법칙을 활용한 임팩트 구동 방식을 기본 원리로 하며, 초음파 진동수로 미세 동작을 제어하므로 부드럽게 작동합니다. 초소형 형상이면서도 높은 추력·보지력을 발휘하여 위치 결정 액추에이터로 최적입니다.
회전 스테이지
TULA 초음파 모터를 탑재한 초소형·고정밀 회전 스테이지. 실축(θDT/θMDT)과 중공축(θHDT) 6 기종 라인업. 0.005° 고분해능과 무통전 유지를 실현.
핑거 유닛
광학·반도체 부품의 미세화에 대응하여 1mm 이하 핸들링이 가능한 초음파 모터 구동 정밀 핑거. 오픈 제어, 고분해능 인코더 탑재 클로즈 제어, Z축 일체형 등을 제공.
케이지 시스템
THORLABS 광학 케이지 시스템에 조립되는 초음파 모터 구동 XY축·Z축 이동 마운트. 최대 φ1/2 인치 광학 소자를 서브미크론 정밀도로 조정 가능.