TULA 핑거
미세화하는 광학 부품·반도체 부품의 마이크로 매니퓰레이터. 인코더 탑재 위치 제어 대응 핑거, 리니어 가이드 부착 핑거, Z축 조정 기능을 내장한 정밀 설계. 커스텀 핑거 형상 대응 가능.
특징
- 미세 부품 마이크로 매니퓰레이터
- 오픈/클로즈 제어 선택 가능
- 분해능 0.1μm
- 커스텀 핑거 형상 대응
フィンガーユニット
| 項目 | FDUT50-030 | FDUT50-037 | FSDUT50-060 | FSDUT50-067 | FLGUT70-035 |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大開口時ストローク | 3mm | 3mm | 6mm | 6mm | 3mm |
| フィンガーアーム長 | 16.2mm | 16.2mm | 17.2mm | 17.2mm | 16.8mm |
| 制御 | オープン | クローズ | オープン | クローズ | クローズ |
| 分解能 | — | 0.1μm | — | 0.1μm | 1μm |
| 繰返し位置決め精度 | — | ±3pulse | — | ±3pulse | ±3pulse |
| 推力 | 50gf | 20gf | 50gf | 20gf | — |
| 保持力 | 150gf | 70gf | 150gf | 70gf | — |
| 可搬重量 | 15g | 10g | 15g | 10g | — |
| 重量 | 14.8g | 16g | 23.8g | 25g | — |
FDUT50-030
FDUT50-037
FSDUT50-060
FSDUT50-067
FLGUT70-035（リニアガイド付き）
Z軸
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ストローク | 6mm |
| 制御 | オープン |
| 推力 | 30gf |
| 保持力 | 125gf |
| 重量 | 24.6g |