TULAフィンガー
微細化する光学部品・半導体部品のマイクロマニピュレータ。エンコーダ搭載位置制御対応フィンガー、リニアガイド付きフィンガー、Z軸調整機能を組み込んだ精密設計。カスタムフィンガー形状対応可能。
特長
- 微細部品のマイクロマニピュレータ
- オープン/クローズ制御選択可能
- 分解能0.1μm
- カスタムフィンガー形状対応
フィンガーユニット
| 項目 | FDUT50-030 | FDUT50-037 | FSDUT50-060 | FSDUT50-067 | FLGUT70-035 |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大開口時ストローク | 3mm | 3mm | 6mm | 6mm | 3mm |
| フィンガーアーム長 | 16.2mm | 16.2mm | 17.2mm | 17.2mm | 16.8mm |
| 制御 | オープン | クローズ | オープン | クローズ | クローズ |
| 分解能 | — | 0.1μm | — | 0.1μm | 1μm |
| 繰返し位置決め精度 | — | ±3pulse | — | ±3pulse | ±3pulse |
| 推力 | 50gf | 20gf | 50gf | 20gf | — |
| 保持力 | 150gf | 70gf | 150gf | 70gf | — |
| 可搬重量 | 15g | 10g | 15g | 10g | — |
| 重量 | 14.8g | 16g | 23.8g | 25g | — |
FDUT50-030
FDUT50-037
FSDUT50-060
FSDUT50-067
FLGUT70-035（リニアガイド付き）
Z軸
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ストローク | 6mm |
| 制御 | オープン |
| 推力 | 30gf |
| 保持力 | 125gf |
| 重量 | 24.6g |