Z-Θ
Linear actuator integrating Z-axis (linear) and θ-axis (rotary). The shaft features a vacuum line for pick-and-place component transport. Each axis is equipped with our optical encoder for high-speed, high-precision operation. Ideal for picking up micro electronic components, precisely positioning them at the required rotation angle, and placing them.
Features
- Integrated Z-axis and θ-axis
- Vacuum line equipped
- Optical encoder equipped
- High-speed pick & place
Z-θユニット仕様
Z軸にはリニアモータ、θ軸にはコアレスACサーボモータを搭載。各軸に弊社製光学式エンコーダを搭載し高速かつ高精度を実現。電子部品等の微細部品を吸着して必要回転角へ正確に位置決めするピック＆プレースに最適。
ZLRシリーズ（Z軸＋θ軸）
| 項目 | ZLR45-15 | ZLR25-15 | ZLR20-8.8 |
|---|---|---|---|
| 本体サイズ (H/D/W) | 216.4/83.5/15.0mm | 196.4/83.5/15.0mm | 145.5/70/8.8mm |
| 重量 | 570g | 520g | 260g |
| 可動部重量 | 150g | 150g | 80g |
| 電源 | DC24V | DC24V | DC24V |
| Z軸ストローク | 45mm | 25mm | 20mm |
| Z軸分解能 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm |
| Z軸位置決め精度 | ±3pls | ±3pls | ±3pls |
| Z軸最高速度 | 1.5m/sec | 1.0m/sec | 300mm/sec |
| Z軸加速度 | 5G | 5G | 2G |
| 先端振れ | ±15μm | ±15μm | ±15μm |
| 回転分解能 | 0.005° | 0.005° | 0.005° |
| 回転位置決め精度 | ±3pls | ±3pls | ±3pls |
| 最大トルク | 0.07mN·m | 0.07mN·m | 40mN·m |
| 最大回転数 | 7000rpm | 7000rpm | 2000rpm |
ZLAシリーズ（Z軸のみ）
| 項目 | ZLA25-9 | ZLA12-15 |
|---|---|---|
| 本体サイズ (H/D/W) | 144.5/62.5/9mm | 165/55/12mm |
| 重量 | 200g | 240g |
| 可動部重量 | 50g | 120g |
| 電源 | DC24V | DC24V |
| Z軸ストローク | 25mm | 120mm |
| Z軸分解能 | 0.1μm | 0.1μm |
| Z軸位置決め精度 | ±3pls | ±3pls |
| Z軸最高速度 | 200mm/sec | 200mm/sec |
| Z軸加速度 | 3G | 3G |
| 先端振れ | ±15μm | ±15μm |