케이지 시스템
THORLABS 광학 케이지 시스템에 조립하는 초음파 모터 구동 XY축 이동 마운트, Z축 이동 마운트. 최대 직경 φ1/2인치까지의 광학 소자를 서브마이크론 정밀도로 조정 가능.
특징
- XY축·Z축 이동 마운트 대응
- 원격 조작 대응
- 악환경 대응
- 서브미크론 정밀도
| 項目 | CGXY12-TL30 | CGZ12-TL30 | CGXYZ09-TL16 | CGZ12-TL16 |
|---|---|---|---|---|
| 適用素子径 | φ6、φ9、φ12 | φ6、φ9、φ12 | φ6、φ9 | φ6、φ9、φ12 |
| 適用素子厚さ | 3.5mm | — | — | — |
| 調整範囲（XY軸） | ±1.0mm | — | — | — |
| 調整範囲（Z軸） | — | ±1.5mm | — | ±1.5mm |
| 駆動超音波モータ | TULA50 | TULA50 | TULA50 | TULA50 |
| 分解能 | 1パルス：0.1、0.5、1.0、5.0μm 選択可能 | — | — | — |
| 位置再現性 | ±3パルス | — | — | — |
CGXY12-TL30
CGZ12-TL30
CGXYZ09-TL16
CGZ12-TL16
