ケージシステム

THORLABS製の光学ケージシステムに組込む超音波モータ駆動のXY軸移動マウント、Z軸移動マウント。最大径φ1/2インチまでの光学素子をサブミクロンの精度で調整が可能。

特長

  • XY軸・Z軸移動マウント対応
  • 遠隔操作対応
  • 悪環境対応
  • サブミクロン精度
ケージシステム
ケージシステム 寸法図
項目 CGXY12-TL30 CGZ12-TL30 CGXYZ09-TL16 CGZ12-TL16
適用素子径 φ6、φ9、φ12 φ6、φ9、φ12 φ6、φ9 φ6、φ9、φ12
適用素子厚さ 3.5mm
調整範囲(XY軸) ±1.0mm
調整範囲(Z軸) ±1.5mm ±1.5mm
駆動超音波モータ TULA50 TULA50 TULA50 TULA50
分解能 1パルス:0.1、0.5、1.0、5.0μm 選択可能
位置再現性 ±3パルス

CGXY12-TL30

CGXY12-TL30

CGZ12-TL30

CGZ12-TL30

CGXYZ09-TL16

CGXYZ09-TL16

CGZ12-TL16

CGZ12-TL16