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TULAフィンガー：FLGUT70-03

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フィンガーユニット　 Type：FLGUT70-03

リニアガイド付フィンガー＋Z軸ユニット　FLGUT70-035/ZLGT70-060


TULA リニアガイド付フィンガー＋Z軸ユニット
FLGUT70-035/ZLGT70-060		 ― 仕様 －

  1.  
    1. ガイドタイプ：Z軸：リニアガイド　2本
      フィンガー軸：リニアガイド　2本
    2. 駆動アクチュエータ：TULA70 4本
    3. Z軸ストローク：6mm
      フィンガー最大開口時ストローク：3mm
    4. 分解能：1.0μm/パルス（ABZ相）
      0.1,0.5,1.0μm選択可
      Z軸：オープンループ
    5. 推力：20gf
    6. 保持力：70gf
    7. 重量：約36g
    8. 可搬重量：10g

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