TULAθ軸ステージ:θDT70

θ軸ステージ  Type:θDT70-1802

θ軸ステージ θDT70-1802型

 
TULA θ軸ステージ θDT70-1802
― 仕様 -

  1. 駆動アクチュエータ:TULA70  2本
  2. ストローク:180°
    ストローク:選択可
    20,60,90,140,180,260,300,360°
  3. 分解能:0.005°/パルス(ABZ相)
  4. 繰返し位置決め精度:±0.015°
  5. 推力:50gf・cm
  6. 保持力:150gf・cm
  7. 重量:約19g
  8. テーブルサイズ:φ20mm