TULA2軸ステージ:XYDT50-04

1軸ステージ  Type:XYDT50-04

X-Y軸ステージ XYDT50-045型

 
TULA X-Y軸ステージ XYDT50-045
― 仕様 -

  1. 駆動アクチュエータ:TULA50   4本
  2. ストローク:4mm
  3. 分解能:1.0μm
    (0.1、0.5、1.0、5.0μm選択可)
  4. 繰返し位置決め精度:±3パルス
    (分解能 0.1μm選択時:±5パルス)
  5. 推力:60gf
  6. 保持力:250gf
  7. 重量:約22g
  8. テーブルサイズ:22×26mm