< TULAステージ

TULA1軸ステージ：XMDT50-05

カタログ・ダウンロード

1軸ステージ　 Type：XMDT50-05

X軸ステージ　XMDT50-057型

 
TULA X軸ステージ　XMDT50-057		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA50  2本
  2. ストローク：±2.5mm
  3. 分解能：0.1μm/パルス（ABZ相）
    （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
  4. 繰返し位置決め精度：±0.5パルス
    （分解能 0.5、1.0、5.0μm選択時：±3パルス）
  5. 推力：60gf
  6. 保持力：300～350gf
  7. 重量：約5g
  8. テーブルサイズ：8×13mm

 3D-CAD図面依頼