TULA1軸ステージ：XCTW70-25

TULA X軸クロスローラガイドステージ
XCTW70-255

1. ガイドタイプ：クロスローラーガイド 2本
2. 駆動アクチュエータ：TULA70W 1本
3. ストローク：±12.5mm
4. 分解能：1.0μm/パルス（ABZ相）
   選択可：1.0,5.0μm
5. 繰返し位置決め精度：±3パルス
6. 推力：50gf
7. 保持力：300gf
8. 重量：約70g
9. テーブルサイズ：31×50mm