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TULA1軸ステージ：XDT70-10

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1軸ステージ　 Type：XDT70-10

X軸ステージ　XDT70-105型

 
TULA X軸ステージ　XDT70-105		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本
  2. ストローク：10mm
  3. 分解能：1.0μm
    （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
  4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
    （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
  5. 推力：70gf
  6. 保持力：300gf
  7. 重量：約13g
  8. テーブルサイズ：22×26mm

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