TULAθ軸ステージ:θHDT70-H30

θ軸ステージ  Type:θHDTH70-H30

θ軸中空ステージ θHDTH70-H302型

 
TULA θ軸中空ステージ θHDT70-H302
― 仕様 -

  1. 駆動アクチュエータ:TULA70  2本
  2. ストローク:360°(±180°)
  3. 分解能:0.005°/パルス(ABZ相)
  4. 繰返し位置決め精度:±0.015°
  5. 推力:50gf・cm
  6. 保持力:150gf・cm
  7. 重量:約58g
  8. テーブルサイズ:φ39.5mm
  9. 中空径:φ31mm