TULA1軸ステージ:XDT50-04

1軸ステージ  Type:XDT50-04

X軸ステージ XDT50-045型


TULA X軸ステージ XDT50-045
― 仕様 -

  1. 駆動アクチュエータ:TULA50  2本
  2. ストローク:4mm
  3. 分解能:1.0μm
    (0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可)
  4. 繰返し位置決め精度:±3パルス
    (分解能 0.1μm選択時:±5パルス)
  5. 推力:70gf
  6. 保持力:300gf
  7. 重量:約11g
  8. テーブルサイズ:22×26mm