TULAフィンガー
光学部品や半導体部品はどんどん微細化が進んでおり、1mm以下のハンドリングが困難になってきております。このような環境の中、TULAシリーズを使用した、微細部品のマイクロマニピュレータをご用意いたしました。
オープン制御とエンコーダを搭載した位置制御を必要とするフィンガーに加えリニアガイドを用いたフィンガーと各々のフィンガー高さを調整するZ軸を組み込んだ精密フィンガーで微細部品のハンドリングの多様性を実現します。
また、推力、保持力を高めたモデルでより汎用性を高めております。
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● それぞれのフィンガーをTULA2本づつ備えた保持力UPモデル。 FDUT50-030 FDUT50-037 |
● FDUT50-03モデルの剛性を上げたステージ型フィンガーモデル FSDUT50-060 FSDUT50-067 |
● リニアガイド付きフィンガーに各フィンガー高さ調整用Z軸をそれぞれに付加したモデル。 FLGUT70-015 / ZLGT70-060 |
| フィンガーユニット | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | FDUT50-030 | FDUT50-037 | FSDUT50-060 | FSDUT50-067 | FLGUT70-035 |
| 最大開口時ストローク | 3mm | 3mm | 6mm | 6mm | 3mm |
| フィンガーアーム長 | 16.2mm | 16.2mm | 17.2mm | 17.2mm | 16.8mm |
| 制御 | オープン | クローズ | オープン | クローズ | クローズ |
| 分解能 ※ | – | 0.1μm | – | 0.1μm | 1μm |
| 繰返し位置決め精度 | – | ±3pulse | – | ±3pulse | ±3pulse |
| 推力 | 50gf | 20gf | |||
| 保持力 | 150gf | 70gf | |||
| 可搬重量 | 15g | 10g | |||
| 重量 | 14.8g | 16g | 23.8g | 25g | |
| ※分解能は、1.0、0.5、0.1μmの選択可能
動作温度 / 湿度：+10～+50℃ / 0～80% (結露無き事） |
Z軸 | ||||
| ストローク | 6mm | ||||
| 制御 | オープン | ||||
| 推力 | 30gf | ||||
| 保持力 | 125gf | ||||
| 重量 | 24.6g | ||||
ハンドリングに関するフィンガー形状等お客様のニーズに合わせ設計製作いたします。