リニアモータステージ（コイル可動型）
短尺コイルで高推力リニアモータを採用したステージ。ダイレクトドライブ構造でバックラッシュがなく、高剛性、高精度。独自のリニアモータ機構により最大加速度8G、最大速度5m/sec。最大ストローク5mまで製作可能。
特長
- 最大加速度8G・最大速度5m/sec
- バックラッシュレス・高剛性
- クリーンルーム仕様対応
- 最大ストローク5m
SGLシリーズ（シングルガイドリニアモータステージ）
ダイレクトドライブ、ゼロコギング、ゼロバックラッシュのコアレスリニアモータステージ。シングルガイド仕様でコンパクトな設計。小型ワークの搬送に最適。リニアエンコーダ分解能：5μm / 1μm / 0.1μm選択可能。
SGLシリーズ仕様
| 仕様 | SGL80 | SGL100 | SGL120 |
|---|---|---|---|
| 搭載モータ | AUM2 | AUM3 | AUM4 |
| コイルサイズ | S2 / S3 / S4 | S2 / S3 / S4 | S2 / S3 / S4 |
| 有効ストローク (mm) | 200～1200 | 200～1200 | 200～1200 |
| 最大加速度 (G) | 10 | 10 | 10 |
| 最大速度 (m/s) | 5 | 5 | 5 |
| 真直度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 平面度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 繰返し精度 1μm分解能 (μm) | ±3 | ±3 | ±3 |
| 繰返し精度 0.5μm分解能 (μm) | ±1.5 | ±1.5 | ±1.5 |
| 繰返し精度 0.1μm分解能 (μm) | ±1 | ±1 | ±1 |
| 最大ベアリング荷重 (N) | 2480 | 3944 | 9360 |
| ガイド | シングルサイズ15 | シングルサイズ15 | シングルサイズ15 |
DGLシリーズ（ダブルガイドリニアモータステージ）
デュアルリニアガイド採用の高荷重対応リニアモータステージ。コアレスモータ（AUM）またはコア付モータ（ACM1）を選択可能。カバーオプション：標準 / コンベンショナル / クリーンルーム / ベローズ。最大ストローク8mまでカスタム対応可能。
DGLシリーズ仕様
| 仕様 | DGL150 | DGL180 | DGL200 | DGL250 |
|---|---|---|---|---|
| 搭載モータ（コアレス） | AUM2 | AUM3 | AUM4 | AUM5 |
| 搭載モータ（コア付） | ACM1-S30/L30～S80/L80 | ACM1-S50/L50, ACM2 | ACM1-S80/L80～S100/L100, ACM3 | ACM4 |
| 有効ストローク (mm) | 100～1200 | 100～1200 | 100～1200 | 100～1200 |
| 最大加速度 (G) | 10 | 10 | 10 | 10 |
| 最大速度 (m/s) | 5 | 5 | 5 | 5 |
| 真直度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 平面度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 繰返し精度 1μm分解能 (μm) | ±3 | ±3 | ±3 | ±3 |
| 繰返し精度 0.1μm分解能 (μm) | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
| ガイド | デュアルサイズ12/15 | デュアルサイズ15 | デュアルサイズ15/20 | デュアルサイズ20 |
| カバーオプション | S / C / CR / B | S / C / CR / B | S / C / CR / B | S / C / CR / B |