LM 스테이지（코일 가동형）
짧은 코일 고추력 리니어 모터를 채용한 스테이지. 다이렉트 드라이브 구조로 백래시가 없고, 고강성, 고정밀. 독자적 리니어 모터 기구로 최대 가속도 8G, 최대 속도 5m/sec. 최대 스트로크 5m까지 제작 가능.
특징
- 최대 가속도 8G·최대 속도 5m/sec
- 백래시 프리·고강성
- 클린룸 사양 대응
- 최대 스트로크 5m
SGL 시리즈（싱글 가이드 리니어 모터 스테이지）
컴팩트 싱글 가이드 리니어 모터 스테이지. 소형 워크 반송에 최적이며 다이렉트 드라이브 구조로 백래시 프리·고강성 실현.
SGL 시리즈 사양
사양 PDF| 사양 | SGL80 | SGL100 | SGL120 |
|---|---|---|---|
| 탑재 모터 | AUM2 | AUM3 | AUM4 |
| 코일 사이즈 | S2 / S3 / S4 | S2 / S3 / S4 | S2 / S3 / S4 |
| 유효 스트로크 (mm) | 200～1200 | 200～1200 | 200～1200 |
| 最大加速度 (G) | 10 | 10 | 10 |
| 최대 속도 (m/s) | 5 | 5 | 5 |
| 真直度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 平面度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 반복 정밀도 @1μm 분해능 (μm) | ±3 | ±3 | ±3 |
| 반복 정밀도 @0.5μm 분해능 (μm) | ±1.5 | ±1.5 | ±1.5 |
| 반복 정밀도 @0.1μm 분해능 (μm) | ±1 | ±1 | ±1 |
| 최대 베어링 하중 (N) | 2480 | 3944 | 9360 |
| 가이드 | 싱글 사이즈 15 | 싱글 사이즈 15 | 싱글 사이즈 15 |
DGL 시리즈（더블 가이드 리니어 모터 스테이지）
두 줄의 가이드를 갖춘 리니어 모터 스테이지로, 큰 부하에 적합. 코어리스 구조로 속도 리플 없는 부드러운 제어 가능. 최대 스트로크 5m, 클린룸 사양 대응.
DGL 시리즈 사양
사양 PDF| 사양 | DGL150 | DGL180 | DGL200 | DGL250 |
|---|---|---|---|---|
| 탑재 모터（코어리스） | AUM2 | AUM3 | AUM4 | AUM5 |
| 탑재 모터（코어 부착） | ACM1-S30/L30～S80/L80 | ACM1-S50/L50, ACM2 | ACM1-S80/L80～S100/L100, ACM3 | ACM4 |
| 유효 스트로크 (mm) | 100～1200 | 100～1200 | 100～1200 | 100～1200 |
| 最大加速度 (G) | 10 | 10 | 10 | 10 |
| 최대 속도 (m/s) | 5 | 5 | 5 | 5 |
| 真直度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 平面度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 반복 정밀도 @1μm 분해능 (μm) | ±3 | ±3 | ±3 | ±3 |
| 반복 정밀도 @0.1μm 분해능 (μm) | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
| 가이드 | 듀얼 사이즈 12/15 | 듀얼 사이즈 15 | 듀얼 사이즈 15/20 | 듀얼 사이즈 20 |
| 커버 옵션 | S / C / CR / B | S / C / CR / B | S / C / CR / B | S / C / CR / B |