直线电机平台（线圈可动型）
采用短线圈高推力线性电机的平台。直接驱动结构无背隙，高刚性、高精度。独特线性电机机构实现最大加速度8G、最大速度5m/sec。最大行程可达5m。
特点
- 最大加速度8G·最大速度5m/sec
- 无背隙·高刚性
- 洁净室规格兼容
- 最大行程5m
SGL 系列（单导轨直线电机平台）
紧凑型单导轨直线电机平台，适合小工件搬运。直接驱动结构无背隙，刚性高。
SGL 系列规格
规格 PDF| 规格 | SGL80 | SGL100 | SGL120 |
|---|---|---|---|
| 搭载电机 | AUM2 | AUM3 | AUM4 |
| 线圈尺寸 | S2 / S3 / S4 | S2 / S3 / S4 | S2 / S3 / S4 |
| 有效行程 (mm) | 200～1200 | 200～1200 | 200～1200 |
| 最大加速度 (G) | 10 | 10 | 10 |
| 最大速度 (m/s) | 5 | 5 | 5 |
| 真直度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 平面度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 重复定位精度 @1μm 分辨率 (μm) | ±3 | ±3 | ±3 |
| 重复定位精度 @0.5μm 分辨率 (μm) | ±1.5 | ±1.5 | ±1.5 |
| 重复定位精度 @0.1μm 分辨率 (μm) | ±1 | ±1 | ±1 |
| 最大轴承负载 (N) | 2480 | 3944 | 9360 |
| 导轨 | 单尺寸 15 | 单尺寸 15 | 单尺寸 15 |
DGL 系列（双导轨直线电机平台）
双导轨直线电机平台，适用于较重负载。无芯设计实现平滑无脉动的速度控制。最大行程可达 5m，可对应洁净室规格。
DGL 系列规格
规格 PDF| 规格 | DGL150 | DGL180 | DGL200 | DGL250 |
|---|---|---|---|---|
| 搭载电机（无芯） | AUM2 | AUM3 | AUM4 | AUM5 |
| 搭载电机（有芯） | ACM1-S30/L30～S80/L80 | ACM1-S50/L50, ACM2 | ACM1-S80/L80～S100/L100, ACM3 | ACM4 |
| 有效行程 (mm) | 100～1200 | 100～1200 | 100～1200 | 100～1200 |
| 最大加速度 (G) | 10 | 10 | 10 | 10 |
| 最大速度 (m/s) | 5 | 5 | 5 | 5 |
| 真直度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 平面度 (μm) | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm | ±3/25mm |
| 重复定位精度 @1μm 分辨率 (μm) | ±3 | ±3 | ±3 | ±3 |
| 重复定位精度 @0.1μm 分辨率 (μm) | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 |
| 导轨 | 双尺寸 12/15 | 双尺寸 15 | 双尺寸 15/20 | 双尺寸 20 |
| 盖板选项 | S / C / CR / B | S / C / CR / B | S / C / CR / B | S / C / CR / B |