ボイスコイルモータステージ（VCMステージ）

ボイスコイルモータステージ（VCMステージ）

• ボイスコイルモータの特長と弊社エンコーダを搭載した推力と駆動電流の直線性に加え、高精度位置決めを実現し、小型・薄型・高速・高精度・高推力を備えたVCMステージ。
• VCM（Voice Coil Motor）は、可動部が軽くダイレクトドライブ制御で、ボールネジのピッチムラがなく、一般アクチュエータよりも高速移動が可能で、DCモータと同様に制御回路が簡素化されアナログ（電圧）入力も可能。
• 平角コイルを使用したフラットコイル式を採用し、弊社従来品より15％以上推力アップを実現。

※ドライバは、カタログ参照ください。

XVシリーズ（扁平型ポイスコイルモーター内蔵ステージ）

XVシリーズ（扁平型）

型式	X軸	X軸	XY軸
	XV002C-4	XV003C-8	XYV003C-8
駆動形態	コイル可動式
有効ストローク	±2mm	±4mm	±4mm
最大搭載荷重（水平使用時）	500g	500g	500g
最小分解能	1μm、0.5μm、0.1μm　選択可
推力定数	2N/A	3N/A	3N/A
コイル抵抗	8.3Ω±10%	10.3Ω±10%	10.3Ω±10%
インダクタンス	3.14mH±10%	3.38mH±10%	4.24mH±10%
可動部重量	30g	45g	200g
ガイド	クロスローラガイド
外観寸法	42×56×13.1mm	50×61×13.1mm	50×61×24mm
本体重量	約126g	約180g	約400g

型式	X軸	X軸	産業用AFユニット
	XV015F-10	XV005F-6	XV005F-6S16
駆動形態	コイル可動式
有効ストローク	±5mm	±3mm	±3mm
最大搭載荷重（水平使用時）	1kg	1kg	1kg
最小分解能	1μm、0.5μm、0.1μm　選択可
推力定数	15N/A	5N/A	5N/A
コイル抵抗	7.5Ω±10%	1.5Ω±10%	1.5Ω±10%
インダクタンス	2.73mH±10%	320μH±10%	320μH±10%
可動部重量	130g	105g	125g
ガイド	クロスローラガイド
外観寸法	81×92×34.5mm	70×76×31.1mm	70×76×61.1mm
本体重量	約800g	約400g	約400g

MVXシリーズ（高速スキャンニング用ステージ）

MVXシリーズ（扁平型）

型式	X軸	X軸	XY軸
	MVX1.3-5.0/0.1	MVX2-30/.01	MVXY2-30/0.1
駆動形態	コイル可動式
有効ストローク	5mm	±15mm	±15mm
最大搭載荷重（水平使用時）	200g	350g	100g
最小分解能	0.1μm
推力定数	1.3N/A	1.3N/A	1.3N/A
コイル抵抗	4Ω±10%	1.4Ω±10%	1.4Ω±10%
インダクタンス	0.25mH±10%	0.2mH±10%	0.2mH±10%
可動部重量	12g	20g	20g
ガイド	リニアガイド	クロスローラガイド
外観寸法	40×22×12mm	65×65×13.5mm	65×65×27mm
本体重量	約37g	約245g	約485g

型式	X軸	XY軸
	XV007F-14	XYV007F-14
駆動形態	コイル可動式
有効ストローク	±7mm	±7mm
最大搭載荷重（水平使用時）	1kg	700ｇ
最小分解能	0.1μm
推力定数	7.5N/A	7.5N/A
コイル抵抗	13.5Ω±10%	13.5Ω±10%
インダクタンス	3mH±10%	3mH±10%
可動部重量	43g	310g
ガイド	クロスローラガイド
外観寸法	65×55×18mm	65×65×36mm
本体重量	約270g	約540g

※ドライバは、カタログ参照ください。