リニアモータステージ(コアレス・マグネット可動型)
薄型・高精度のリニアモータ内蔵ステージ
- マグネット駆動方式のコアレスリニアモータを内蔵し本体可動部のハーネス無し。
- 精密クロスローラガイドを採用しコンパクトな設計で薄型・高精度・高信頼性のステージ。
- 光学式の非接触小型リニアエンコーダを採用し、完全クローズドループで超低速から高速領域を高精度に制御可能。
- 超小型ドライバとの組み合わせで省スペースを達成し、入力信号はアナログ・パルス列コマンド(RS232C)入力が可能。
- 完成度の高い対話型のオートチューニングは 専門知識が無くても容易にステージの特性を得られ、装置を短期間で立ち上げ可能。
- オーバーランリミット、原点近傍、加熱保護は標準装備。
XL50-001
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XL50YL50-001
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XL50-001型 |
XL50YL50-001型 |
Xステージ |
X-Yステージ |
ストローク |
50mm |
各軸50mm |
テーブル寸法 |
W : 117 × D : 106 mm |
W : 117 × D : 106 mm |
本体高さ |
26mm |
52mm |
推力定数 |
5N/A |
各軸 5N/A |
最大推力 |
25N (@24V) |
各軸 25N (@24V) |
進捗精度(水平/垂直) |
1μm / 1μm |
最小分解能 |
0.1μm(OP:0.05μm) |
位置決め精度 |
±0.2μm |
最大積載重量 |
5 Kg |
2.7 Kg |
本体質量 |
2.3 Kg |
4.6Kg |
透過を要求する高精度顕微鏡などの位置決めに最適 ステージ
- 駆動系にリニアモータ、ガイドにはクロスローラガイド、位置センサには光学式リニアエンコーダを組み込んだダイレクトドライブ方式。
- クローズドループ制御により高分解能、高再現性を達成。
- ステージ中央部にφ100mmの開口部を設けた薄型のX・Yステージ。
- 専用コントローラボードにより位置情報と測定データをPCIバスにてHDDにリアルタイム同期・記録し、データ解析が出来、連続データの取込みが可能。
- レーザセンサ、CCDカメラと複合し、画像処理も対応可能。
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X150Y150-101型 |
ストローク |
±75mm(X軸・Y軸) |
テーブル寸法 |
W : 290 × D : 290 mm |
開口部 |
φ100mm |
駆動系 |
コアレスリニアモータ |
ガイド |
クロスローラガイド |
最小分解能 |
0.1μm(OP:0.01μm) |
位置決め精度 |
±0.2μm |
最大推力 |
20N (Max) |
最大速度 |
200mm/sec |
耐荷重 |
30N (Max) |
材質 |
アルミ合金 |
本体質量 |
約 8Kg |
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X150Y150-101
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