Z-θユニット

高精度ピック&プレースユニット
リニアロータリアクチュエータ
ZLR45-15 / ZLR25-15 / ZLR20-8.8 / ZLA25-9 / ZLA-12-15

Z軸(直線軸)とθ軸(回転軸)を一体型にした、リニアアクチュエータです。
シャフトには、バキュームラインを設けており部品を吸着して搬送できます。

Z軸(直線軸)リニアモータをθ軸(回転軸)コアレス型ACサーボモータを使用し、各軸に弊社製光学式エンコーダを搭載しており、高速かつ高精度を実現しています。
電子部品等の微細部品を吸着して、必要回転角へ正確に位置決めしてのピック&プレースに最適です。

ZLRシリーズ ZLAシリーズ(θ軸無し)

 

仕様

    ZLR45-15 ZLR25-15 ZLR20-8.8 ZLA25-9
(θ軸無し)
ZLA12-15
(θ軸無し)
本体 サイズ (H/D/W) 216.4/83.5/15.0mm 196.4/83.5/15.0mm 145.5/70/8.8mm 144.5/62.5/9mm 165/55/12mm
重量  570g 520g 260g 200g 240g
可動部重量 150g 150g 80g 50g 120g
電源電圧 DC24V DC24V DC24V DC24V DC24V
Z軸駆動モータ リニアモータ
オプション ボールスプラインタイプ
先端軸振れ ±15μm ±15μm ±15μm ±15μm ±15μm
バキュームポート
Linear ストローク  45mm 25mm 20mm 25mm 120mm
分解能  0.1μm 0.1μm 0.1μm 0.1μm 0.1μm
位置決め精度  ±3pls ±3pls ±3pls ±3pls ±3pls
最高速度 1.5m/sec 1.0m/sec 300mm/sec 200mm/sec 200mm/sec
加速度  5G 5G 2G 3G 3G
推力定数 6.5N/A 6.5N/A 3N/A 2.6N/A 4N/A
定格電流 1A 1A 0.6A 0.6A 1A
定格推力  6.5N 6.5N 1.8N 1.6N 4N
最大電流  4.0A 4.0A 1.8A 1.2A 3.5A
最大推力 14N 14N 4N 3.2N 4N
Rotary 分解能(pls) 0.005deg 0.005deg 0.005deg
位置決め精度  ±3pls ±3pls ±3pls
最大トルク 0.07mN・m 0.07mN・m 40mN・m
最高回転数 7000rpm 7000rpm 2000rpm
定格電流 1A 1A 0.6A
  • 動作温度 / 湿度:0~40℃ / 0~80%結露無き事
  • 保存温度 / 湿度:-10~50℃ / 0~80%結露無き事