Product Categories: TULA1軸ステージ

1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本
2. ストローク：15mm
3. 分解能：1.0μm
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
   （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
5. 推力：60gf
6. 保持力：300gf
7. 重量：約14g
8. テーブルサイズ：22×26mm

1. 駆動アクチュエータ：TULA50  2本
2. ストローク：±2.5mm
3. 分解能：0.1μm/パルス（ABZ相）
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±0.5パルス
   （分解能 0.5、1.0、5.0μm選択時：±3パルス）
5. 推力：60gf
6. 保持力：300～350gf
7. 重量：約5g
8. テーブルサイズ：8×13mm

TULA X軸ステージ　XLGT70-255

1. ガイドタイプ：リニアガイド　1本
2. 駆動アクチュエータ：TULA70 ２本
3. ストローク：±7.5mm
4. 分解能：0.1μm/パルス（ABZ相）
    （0.1,0.5,1.0, 5.0μm選択可）
5. 繰返し位置決め精度：±0.5パルス
   （分解能 0.5、1.0、5.0μm選択時：±3パルス）
6. 推力：70gf
7. 保持力：300~350gf
8. 重量：約23g
9. テーブルサイズ；30×31mm

1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本
2. ストローク：15mm
3. 分解能：1.0μm
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
   （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
5. 推力：70gf
6. 保持力：350gf
7. 重量：約40g
8. テーブルサイズ：22×42mm

1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本 
2. ストローク：10mm
3. 分解能：1.0μm
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
   （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
5. 推力：80gf
6. 保持力：350gf
7. 重量：約30g
8. テーブルサイズ：20×32mm

TULA X軸クロスローラガイドステージ
XCTW70-255

1. ガイドタイプ：クロスローラーガイド 2本
2. 駆動アクチュエータ：TULA70W 1本
3. ストローク：±12.5mm
4. 分解能：1.0μm/パルス（ABZ相）
   選択可：1.0,5.0μm
5. 繰返し位置決め精度：±3パルス
6. 推力：50gf
7. 保持力：300gf
8. 重量：約70g
9. テーブルサイズ：31×50mm

1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本
2. ストローク：10mm
3. 分解能：1.0μm
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
   （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
5. 推力：70gf
6. 保持力：300gf
7. 重量：約13g
8. テーブルサイズ：22×26mm

1. 駆動アクチュエータ：TULA50  2本
2. ストローク：4mm
3. 分解能：1.0μm
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
   （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
5. 推力：70gf
6. 保持力：300gf
7. 重量：約11g
8. テーブルサイズ：22×26mm

1. 駆動アクチュエータ：TULA35  2本
2. ストローク：4mm
3. 分解能：1.0μm
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
   （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
5. 推力：40gf
6. 保持力：150gf
7. 重量：約8g
8. テーブルサイズ：18×22mm