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Product Categories: TULAステージ／フィンガー一覧

FSDUT50-67

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フィンガーユニット　 Type：FSDUT50-03

ステージ型フィンガーユニット/エンコーダ付き　FSDUT50-067型


TULA ステージ型フィンガーユニット/エンコーダ付き
FSDUT50-067		 ― 仕様 －

      1. 最大開口時ストローク：3mm
      2. 推力：50gf
      3. 保持力：150gf
      4. 制御：パルスとコマンド制御
      5. 分解能：1.0,0.5,0.1μm選択可
        本型番分解能：0.1μm
      6. 重量：16g
      7. 可搬重量：15g
      8. 片側フィンガー別制御可

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FDUT50-37

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フィンガーユニット　 Type：FDUT50-03

フィンガーユニット　FDUT50-037型


TULA フィンガーユニット/エンコーダ付き　FDUT50-037		 ― 仕様 －

      1. 最大開口時ストローク：3mm
      2. 推力：50gf
      3. 保持力：150gf
      4. 制御：パルスとコマンド制御
      5. 分解能：1.0,0.5,0.1μm選択可
        本型番分解能：0.1μm
      6. 重量：16g
      7. 可搬重量：15g
      8. 片側フィンガー別制御可

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XDT70-15

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1軸ステージ　 Type：XDT70-10

X軸ステージ　XDT70-155型

 
TULA X軸ステージ　XDT70-155		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本
  2. ストローク：15mm
  3. 分解能：1.0μm
    （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
  4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
    （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
  5. 推力：60gf
  6. 保持力：300gf
  7. 重量：約14g
  8. テーブルサイズ：22×26mm

仕樣/図面
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XMDT50-05

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1軸ステージ　 Type：XMDT50-05

X軸ステージ　XMDT50-057型

 
TULA X軸ステージ　XMDT50-057		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA50  2本
  2. ストローク：±2.5mm
  3. 分解能：0.1μm/パルス（ABZ相）
    （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
  4. 繰返し位置決め精度：±0.5パルス
    （分解能 0.5、1.0、5.0μm選択時：±3パルス）
  5. 推力：60gf
  6. 保持力：300～350gf
  7. 重量：約5g
  8. テーブルサイズ：8×13mm

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FLGUT70-03

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フィンガーユニット　 Type：FLGUT70-03

リニアガイド付フィンガー＋Z軸ユニット　FLGUT70-035/ZLGT70-060


TULA リニアガイド付フィンガー＋Z軸ユニット
FLGUT70-035/ZLGT70-060		 ― 仕様 －

  1.  
    1. ガイドタイプ：Z軸：リニアガイド　2本
      フィンガー軸：リニアガイド　2本
    2. 駆動アクチュエータ：TULA70 4本
    3. Z軸ストローク：6mm
      フィンガー最大開口時ストローク：3mm
    4. 分解能：1.0μm/パルス（ABZ相）
      0.1,0.5,1.0μm選択可
      Z軸：オープンループ
    5. 推力：20gf
    6. 保持力：70gf
    7. 重量：約36g
    8. 可搬重量：10g

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FSDUT50-06

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フィンガーユニット　 Type：FSDUT50-06

ステージ型フィンガーユニット　FSDUT50-060型


TULA ステージ型フィンガーユニット　FSDUT50-060		 ― 仕様 －

    1. 最大開口時ストローク：6mm
    2. 推力：50gf
    3. 保持力：150gf
    4. 制御：パルスとコマンド制御
    5. 重量：23.8g
    6. 可搬重量：15g
    7. 片側フィンガー別制御可
    8. オープン制御

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FDUT50-03

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フィンガーユニット　 Type：FDUT50-03

フィンガーユニット　FDUT50-030型


TULA フィンガーユニット　FDUT50-030		 ― 仕様 －

  1. 最大開口時ストローク：3mm
  2. 推力：50gf
  3. 保持力：150gf
  4. 制御：パルスとコマンド制御
  5. 重量：14.8g
  6. 可搬重量：15g
  7. 片側フィンガー別制御可
  8. オープン制御

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θHDT70-H30

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θ軸ステージ　 Type：θHDTH70-H30

θ軸中空ステージ　θHDTH70-H302型

 
TULA θ軸中空ステージ　θHDT70-H302		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本
  2. ストローク：360°（±180°）
  3. 分解能：0.005°/パルス（ABZ相）
  4. 繰返し位置決め精度：±0.015°
  5. 推力：50gf・cm
  6. 保持力：150gf・cm
  7. 重量：約58ｇ
  8. テーブルサイズ：φ39.5mm
  9. 中空径：φ31mm

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θHDT70-H20

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θ軸ステージ　 Type：θHDTH70-H20

θ軸中空ステージ　θHDTH70-H202型

 
TULA θ軸中空ステージ　θHDT70-H202		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本
  2. ストローク：360°（±180°）
  3. 分解能：0.005°/パルス（ABZ相）
  4. 繰返し位置決め精度：±0.015°
  5. 推力：50gf・cm
  6. 保持力：150gf・cm
  7. 重量：約58ｇ
  8. テーブルサイズ：φ36mm
  9. 中空径：φ22mm

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θHDT70-H10

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θ軸ステージ　 Type：θHDTH70-H10

θ軸中空ステージ　θHDTH70-102型

 
TULA θ軸中空ステージ　θHDT70-H102		 ― 仕様 －

  1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本
  2. ストローク：360°（±180°）
  3. 分解能：0.005°/パルス（ABZ相）
  4. 繰返し位置決め精度：±0.015°
  5. 推力：50gf・cm
  6. 保持力：150gf・cm
  7. 重量：約15ｇ
  8. テーブルサイズ：φ22mm
  9. 中空径：φ10.5mm

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