Product Categories: TULAステージ/フィンガー一覧

FSDUT50-67

フィンガーユニット  Type:FSDUT50-03

ステージ型フィンガーユニット/エンコーダ付き FSDUT50-067型


TULA ステージ型フィンガーユニット/エンコーダ付き
FSDUT50-067
― 仕様 -

      1. 最大開口時ストローク:3mm
      2. 推力:50gf
      3. 保持力:150gf
      4. 制御:パルスとコマンド制御
      5. 分解能:1.0,0.5,0.1μm選択可
        本型番分解能:0.1μm
      6. 重量:16g
      7. 可搬重量:15g
      8. 片側フィンガー別制御可

FDUT50-37

フィンガーユニット  Type:FDUT50-03

フィンガーユニット FDUT50-037型


TULA フィンガーユニット/エンコーダ付き FDUT50-037
― 仕様 -

      1. 最大開口時ストローク:3mm
      2. 推力:50gf
      3. 保持力:150gf
      4. 制御:パルスとコマンド制御
      5. 分解能:1.0,0.5,0.1μm選択可
        本型番分解能:0.1μm
      6. 重量:16g
      7. 可搬重量:15g
      8. 片側フィンガー別制御可

XDT70-15

1軸ステージ  Type:XDT70-10

X軸ステージ XDT70-155型

 
TULA X軸ステージ XDT70-155
― 仕様 -

  1. 駆動アクチュエータ:TULA70  2本
  2. ストローク:15mm
  3. 分解能:1.0μm
    (0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可)
  4. 繰返し位置決め精度:±3パルス
    (分解能 0.1μm選択時:±5パルス)
  5. 推力:60gf
  6. 保持力:300gf
  7. 重量:約14g
  8. テーブルサイズ:22×26mm

XMDT50-05

1軸ステージ  Type:XMDT50-05

X軸ステージ XMDT50-057型

 
TULA X軸ステージ XMDT50-057
― 仕様 -

  1. 駆動アクチュエータ:TULA50  2本
  2. ストローク:±2.5mm
  3. 分解能:0.1μm/パルス(ABZ相)
    (0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可)
  4. 繰返し位置決め精度:±0.5パルス
    (分解能 0.5、1.0、5.0μm選択時:±3パルス)
  5. 推力:60gf
  6. 保持力:300~350gf
  7. 重量:約5g
  8. テーブルサイズ:8×13mm

FLGUT70-03

フィンガーユニット  Type:FLGUT70-03

リニアガイド付フィンガー+Z軸ユニット FLGUT70-035/ZLGT70-060


TULA リニアガイド付フィンガー+Z軸ユニット
FLGUT70-035/ZLGT70-060
― 仕様 -

  1.  
    1. ガイドタイプ:Z軸:リニアガイド 2本
      フィンガー軸:リニアガイド 2本
    2. 駆動アクチュエータ:TULA70 4本
    3. Z軸ストローク:6mm
      フィンガー最大開口時ストローク:3mm
    4. 分解能:1.0μm/パルス(ABZ相)
      0.1,0.5,1.0μm選択可
      Z軸:オープンループ
    5. 推力:20gf
    6. 保持力:70gf
    7. 重量:約36g
    8. 可搬重量:10g

FSDUT50-06

フィンガーユニット  Type:FSDUT50-06

ステージ型フィンガーユニット FSDUT50-060型


TULA ステージ型フィンガーユニット FSDUT50-060
― 仕様 -

    1. 最大開口時ストローク:6mm
    2. 推力:50gf
    3. 保持力:150gf
    4. 制御:パルスとコマンド制御
    5. 重量:23.8g
    6. 可搬重量:15g
    7. 片側フィンガー別制御可
    8. オープン制御

FDUT50-03

フィンガーユニット  Type:FDUT50-03

フィンガーユニット FDUT50-030型


TULA フィンガーユニット FDUT50-030
― 仕様 -

  1. 最大開口時ストローク:3mm
  2. 推力:50gf
  3. 保持力:150gf
  4. 制御:パルスとコマンド制御
  5. 重量:14.8g
  6. 可搬重量:15g
  7. 片側フィンガー別制御可
  8. オープン制御

θHDT70-H30

θ軸ステージ  Type:θHDTH70-H30

θ軸中空ステージ θHDTH70-H302型

 
TULA θ軸中空ステージ θHDT70-H302
― 仕様 -

  1. 駆動アクチュエータ:TULA70  2本
  2. ストローク:360°(±180°)
  3. 分解能:0.005°/パルス(ABZ相)
  4. 繰返し位置決め精度:±0.015°
  5. 推力:50gf・cm
  6. 保持力:150gf・cm
  7. 重量:約58g
  8. テーブルサイズ:φ39.5mm
  9. 中空径:φ31mm

θHDT70-H20

θ軸ステージ  Type:θHDTH70-H20

θ軸中空ステージ θHDTH70-H202型

 
TULA θ軸中空ステージ θHDT70-H202
― 仕様 -

  1. 駆動アクチュエータ:TULA70  2本
  2. ストローク:360°(±180°)
  3. 分解能:0.005°/パルス(ABZ相)
  4. 繰返し位置決め精度:±0.015°
  5. 推力:50gf・cm
  6. 保持力:150gf・cm
  7. 重量:約58g
  8. テーブルサイズ:φ36mm
  9. 中空径:φ22mm

θHDT70-H10

θ軸ステージ  Type:θHDTH70-H10

θ軸中空ステージ θHDTH70-102型

 
TULA θ軸中空ステージ θHDT70-H102
― 仕様 -

  1. 駆動アクチュエータ:TULA70  2本
  2. ストローク:360°(±180°)
  3. 分解能:0.005°/パルス(ABZ相)
  4. 繰返し位置決め精度:±0.015°
  5. 推力:50gf・cm
  6. 保持力:150gf・cm
  7. 重量:約15g
  8. テーブルサイズ:φ22mm
  9. 中空径:φ10.5mm