Z-Θ

将Z轴（直线轴）和θ轴（旋转轴）一体化的线性执行器。轴上设有真空管路，可吸附部件进行搬运。各轴搭载本公司光学编码器，实现高速高精度。最适用于吸附电子元件等微细部件并精确定位到所需旋转角度的拾放操作。

Z-θユニット仕様

Z軸にはリニアモータ、θ軸にはコアレスACサーボモータを搭載。各軸に弊社製光学式エンコーダを搭載し高速かつ高精度を実現。電子部品等の微細部品を吸着して必要回転角へ正確に位置決めするピック＆プレースに最適。

項目	ZLR45-15	ZLR25-15	ZLR20-8.8
本体サイズ (H/D/W)	216.4/83.5/15.0mm	196.4/83.5/15.0mm	145.5/70/8.8mm
重量	570g	520g	260g
可動部重量	150g	150g	80g
電源	DC24V	DC24V	DC24V
Z軸ストローク	45mm	25mm	20mm
Z軸分解能	0.1μm	0.1μm	0.1μm
Z軸位置決め精度	±3pls	±3pls	±3pls
Z軸最高速度	1.5m/sec	1.0m/sec	300mm/sec
Z軸加速度	5G	5G	2G
先端振れ	±15μm	±15μm	±15μm
回転分解能	0.005°	0.005°	0.005°
回転位置決め精度	±3pls	±3pls	±3pls
最大トルク	0.07mN·m	0.07mN·m	40mN·m
最大回転数	7000rpm	7000rpm	2000rpm