超声波电机

TULA — 超小型超声波电机
通常的执行器以电磁式、流体式(气压、油压)为主流,近年来新型超声波电机已在工业设备以及数码相机、手机等移动设备中广泛采用。本公司提供的超小型超声波电机由韩国 Piezoelectric Technology Co., Ltd 研发并产品化。与我公司开发的超小型高分辨率编码器组合后,可通过各类平台、驱动器、控制器实现微细结构的高精度自动化。

TULA 特点
- 驱动轴自润滑,可兼作导轨
- 通过更换材料·胶粘剂可实现真空环境 (10⁻⁵Pa) 工作
- 可采用非磁性材料构成,能在强磁场环境下驱动
- 结构简单、零件少,量产成本可控
- 直接驱动机构带来高机械响应(振动 ⇒ 动作)
- 停止时靠摩擦力完全停止(无振动、无发热)
- 工作噪音小
- 断电状态下亦具有高保持力
- 无需减速机即可实现低速、高推力、轻量化
TULA 驱动原理
TULA 超小型超声波线性执行器是基于单晶/双晶压电陶瓷振动控制的新一代执行器。固定在驱动轴根部的压电陶瓷产生振动,通过改变正反向运动的速度差,使摩擦体(移动体)实现微小位移。基本原理是利用惯性定律的冲击驱动方式,并以高振动频率(超声波振动)控制微动作,实现平滑运行。在超小型外形下仍可获得高推力与保持力,是位置定位执行器的理想选择。




旋转平台
搭载 TULA 超声波电机的超小型高精度回转平台。包含实心轴 (θDT/θMDT) 与中空轴 (θHDT) 6 个机型,分辨率达 0.005°,断电状态下亦可保持位置。
高分辨率 0.005°/脉冲重复定位精度 ±0.015°断电状态下亦可自锁保持实心轴/中空轴 共 6 个机型
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手指单元
采用超声波电机驱动的精密夹爪,可处理 1mm 以下的光学/半导体微小部件。提供开环、闭环(搭载高分辨率编码器)以及内置 Z 轴等多种型号。
可处理 1mm 以下微小部件开环/闭环控制 可选推力 50gf、保持力 150gf(FDUT/FSDUT 系列)Z 轴内置型号(FLGUT70/ZLGT70)
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笼式系统
集成于 THORLABS 光学笼系统中、由超声波电机驱动的 XY 轴/Z 轴运动支架。最大可对 φ1/2 英寸的光学元件进行亚微米级精度调整。
兼容 THORLABS 光学笼系统断电下利用摩擦力保持位置最大可适配 φ1/2 英寸光学元件亚微米精度远程调整
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