笼式系统

用于安装在THORLABS光学笼式系统中的超声波电机驱动XY轴和Z轴移动支架。可对最大直径φ1/2英寸的光学元件进行亚微米精度调节。

特点

  • XY轴/Z轴移动安装兼容
  • 远程操作
  • 恶劣环境适用
  • 亚微米精度
笼式系统
笼式系统 寸法図
項目 CGXY12-TL30 CGZ12-TL30 CGXYZ09-TL16 CGZ12-TL16
適用素子径 φ6、φ9、φ12 φ6、φ9、φ12 φ6、φ9 φ6、φ9、φ12
適用素子厚さ 3.5mm
調整範囲(XY軸) ±1.0mm
調整範囲(Z軸) ±1.5mm ±1.5mm
駆動超音波モータ TULA50 TULA50 TULA50 TULA50
分解能 1パルス:0.1、0.5、1.0、5.0μm 選択可能
位置再現性 ±3パルス

CGXY12-TL30

CGXY12-TL30

CGZ12-TL30

CGZ12-TL30

CGXYZ09-TL16

CGXYZ09-TL16

CGZ12-TL16

CGZ12-TL16