笼式系统
用于安装在THORLABS光学笼式系统中的超声波电机驱动XY轴和Z轴移动支架。可对最大直径φ1/2英寸的光学元件进行亚微米精度调节。
特点
- XY轴/Z轴移动安装兼容
- 远程操作
- 恶劣环境适用
- 亚微米精度
| 項目 | CGXY12-TL30 | CGZ12-TL30 | CGXYZ09-TL16 | CGZ12-TL16 |
|---|---|---|---|---|
| 適用素子径 | φ6、φ9、φ12 | φ6、φ9、φ12 | φ6、φ9 | φ6、φ9、φ12 |
| 適用素子厚さ | 3.5mm | — | — | — |
| 調整範囲(XY軸) | ±1.0mm | — | — | — |
| 調整範囲(Z軸) | — | ±1.5mm | — | ±1.5mm |
| 駆動超音波モータ | TULA50 | TULA50 | TULA50 | TULA50 |
| 分解能 | 1パルス:0.1、0.5、1.0、5.0μm 選択可能 | — | — | — |
| 位置再現性 | ±3パルス | — | — | — |
CGXY12-TL30
CGZ12-TL30
CGXYZ09-TL16
CGZ12-TL16