Product Categories: TULAステージ／フィンガー一覧

1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本
2. ストローク：15mm
3. 分解能：1.0μm
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
   （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
5. 推力：70gf
6. 保持力：350gf
7. 重量：約40g
8. テーブルサイズ：22×42mm

1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本 
2. ストローク：10mm
3. 分解能：1.0μm
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
   （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
5. 推力：80gf
6. 保持力：350gf
7. 重量：約30g
8. テーブルサイズ：20×32mm

TULA X軸クロスローラガイドステージ
XCTW70-255

1. ガイドタイプ：クロスローラーガイド 2本
2. 駆動アクチュエータ：TULA70W 1本
3. ストローク：±12.5mm
4. 分解能：1.0μm/パルス（ABZ相）
   選択可：1.0,5.0μm
5. 繰返し位置決め精度：±3パルス
6. 推力：50gf
7. 保持力：300gf
8. 重量：約70g
9. テーブルサイズ：31×50mm

1. 駆動アクチュエータ：TULA70  2本
2. ストローク：10mm
3. 分解能：1.0μm
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
   （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
5. 推力：70gf
6. 保持力：300gf
7. 重量：約13g
8. テーブルサイズ：22×26mm

1. 駆動アクチュエータ：TULA50  2本
2. ストローク：4mm
3. 分解能：1.0μm
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
   （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
5. 推力：70gf
6. 保持力：300gf
7. 重量：約11g
8. テーブルサイズ：22×26mm

1. 駆動アクチュエータ：TULA35  2本
2. ストローク：4mm
3. 分解能：1.0μm
   （0.1, 0.5, 1.0, 5.0μm選択可）
4. 繰返し位置決め精度：±3パルス
   （分解能 0.1μm選択時：±5パルス）
5. 推力：40gf
6. 保持力：150gf
7. 重量：約8g
8. テーブルサイズ：18×22mm