フィンガーユニット
光学部品・半導体部品の微細化が進む中、1mm 以下のハンドリングに対応する超音波モータ駆動の精密フィンガー。オープン制御と高分解能エンコーダ搭載のクローズ制御モデル、Z軸組込モデルなどを用意。
特長
- 1mm 以下の微細部品ハンドリング
- オープン制御／クローズ制御 選択可
- 推力 50gf・保持力 150gf 達成（FDUT/FSDUT 系）
- Z軸組込モデル（FLGUT70/ZLGT70）
フィンガーユニット ラインナップ
TULA50 を 4 本使用した保持力 UP モデル（FDUT50）、剛性を上げたステージ型（FSDUT50）、リニアガイド付き＋Z軸（FLGUT70/ZLGT70）。
FDUT50-030
FDUT50-037
FSDUT50-060
FSDUT50-067
FLGUT70-035 / ZLGT70-060
フィンガーユニット 仕様
| 型式 | FDUT50-030 | FDUT50-037 | FSDUT50-060 | FSDUT50-067 | FLGUT70-035 |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大開口時ストローク | 3mm | 3mm | 6mm | 6mm | 3mm |
| フィンガーアーム長 | 16.2mm | 16.2mm | 17.2mm | 17.2mm | 16.8mm |
| 制御 | オープン | クローズ | オープン | クローズ | クローズ |
| 分解能 | - | 0.1μm | - | 0.1μm | 1μm |
| 繰返し位置決め精度 | - | ±3pulse | - | ±3pulse | ±3pulse |
| 推力 | 50gf | 50gf | 50gf | 50gf | 20gf |
| 保持力 | 150gf | 150gf | 150gf | 150gf | 70gf |
| 可搬重量 | 15g | 15g | 15g | 15g | 10g |
| 重量 | 14.8g | 16g | 23.8g | 25g | - |
Z軸（FLGUT70-035 用）
| 項目 | ZLGT70-060 |
|---|---|
| ストローク | 6mm |
| 制御 | オープン |
| 推力 | 30gf |
| 保持力 | 125gf |
| 重量 | 24.6g |