Z-θユニット(加圧制御対応)

高精度ピック&プレースユニット(加圧制御対応)
高精度リニアロータリアクチュエータ ZVR-A30/ZVR-B30

Z軸(直線軸)とθ軸(回転軸)を一体型にした、リニアアクチュエータです。
シャフトには、バキュームラインを設けており部品を吸着して搬送できます。

ー特長ー

・最適化されたメカニズム(軸一体型)で回転軸振れ±2µm以下。

・非接触軸受(エアベアリング)で加圧力1g実現。

・補正機能にてリニアリティを実現。

・ラビリンス機構で非接触バキュームを実現。

・光学式小型エンコーダで高精度位置決めを実現。

ZVRシリーズ

仕様

    ZVRーA30 ZVRーB30
本体 サイズ(H/D/W) 116.5/28.0/46.5 mm 116.5/28.0/46.5 mm
重量 260g 260g
可動部重量 60g 60g
電源電圧 DC24V DC24V
Z軸駆動モータ ボイスコイルモータ ボイスコイルモータ
軸受 エアベアリング ボールベアリング
回転軸振れ ±2μm ±15μm
バキュームポート 有り 有り
Linear ストローク 5mm 5mm
分解能 0.1μm 0.1μm
位置決め精度 ±3pls ±3pls
最高速度 100mm/s 100mm/s
加速度 1G 1G
推力定数 2N/A 2N/A
定格電流 0.6A 0.6A
定格推力 1.2N 1.2N
最大電流 2A 2A
最大推力 3N 3N
加圧分解能 0.1g 1.0g
最小加圧力 1.0g 10g
最大加圧力 150g 150g
加圧精度 ±10% ±10%
Rotary 分解能(pls) 0.005deg 0.005deg
位置決め精度 ±3pls ±3pls
最大トルク 30mN・m 30mN・m
最高回転数 2000rpm 2000rpm
定格電流 0.6A 0.6A