リニアモータステージ（コアレス・マグネット可動型）
薄型・高精度のリニアモータ内蔵ステージ
- マグネット駆動方式のコアレスリニアモータを内蔵し本体可動部のハーネス無し。
- 精密クロスローラガイドを採用しコンパクトな設計で薄型・高精度・高信頼性のステージ。
- 光学式の非接触小型リニアエンコーダを採用し、完全クローズドループで超低速から高速領域を高精度に制御可能。
- 超小型ドライバとの組み合わせで省スペースを達成し、入力信号はアナログ・パルス列コマンド（RS232C）入力が可能。
- 完成度の高い対話型のオートチューニングは 専門知識が無くても容易にステージの特性を得られ、装置を短期間で立ち上げ可能。
- オーバーランリミット、原点近傍、加熱保護は標準装備。
XL50-001
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XL50YL50-001
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XL50-001型 |
XL50YL50-001型 |
| Xステージ |
X-Yステージ |
| ストローク |
50mm |
各軸50mm |
| テーブル寸法 |
W : 117 × D : 106 mm |
W : 117 × D : 106 mm |
| 本体高さ |
26mm |
52mm |
| 推力定数 |
5N/A |
各軸 5N/A |
| 最大推力 |
25N (@24V) |
各軸 25N (@24V) |
| 進捗精度（水平/垂直） |
1μm / 1μm |
| 最小分解能 |
0.1μm（OP：0.05μm） |
| 位置決め精度 |
±0.2μm |
| 最大積載重量 |
5 Kg |
2.7 Kg |
| 本体質量 |
2.3 Kg |
4.6Kg |
透過を要求する高精度顕微鏡などの位置決めに最適 ステージ
- 駆動系にリニアモータ、ガイドにはクロスローラガイド、位置センサには光学式リニアエンコーダを組み込んだダイレクトドライブ方式。
- クローズドループ制御により高分解能、高再現性を達成。
- ステージ中央部にφ100mmの開口部を設けた薄型のX・Yステージ。
- 専用コントローラボードにより位置情報と測定データをPCIバスにてHDDにリアルタイム同期・記録し、データ解析が出来、連続データの取込みが可能。
- レーザセンサ、CCDカメラと複合し、画像処理も対応可能。
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X150Y150-101型 |
| ストローク |
±75mm（X軸・Y軸） |
| テーブル寸法 |
W : 290 × D : 290 mm |
| 開口部 |
φ100mm |
| 駆動系 |
コアレスリニアモータ |
| ガイド |
クロスローラガイド |
| 最小分解能 |
0.1μm（OP：0.01μm） |
| 位置決め精度 |
±0.2μm |
| 最大推力 |
20N （Max) |
| 最大速度 |
200mm/sec |
| 耐荷重 |
30N （Max） |
| 材質 |
アルミ合金 |
| 本体質量 |
約 8Kg |
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X150Y150-101
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