VCMステージ
1相モータで推力リップルがなく、高精度を保証

VCMステージカタログ(1.21MB)
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XV002C-4/XV003C-8型
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XV015F-10/XV005F-6型
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XV025-50/XV030-100型
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  • ボイスコイルモータを、ステージの重心側に内蔵したコンパクトな設計。
  • ガイドに、精密クロスローラガイドを使用し高い真直精度を達成。
  • ダイレクトドライブ制御で、ボールネジのピッチムラが無く、速度制御に最適。
  • DCモータと同様に制御回路が簡単で、アナログ(電圧)入力の制御も可能。
  • 標準I/Fは、RS232Cのコマンド指令とパルス列入力。
  • 高速駆動と高精度な位置決めが必要となる分野に最適。
  • 温度センサ(サーミスタ)標準装備(サーモスタットはオプション)。
★オプション:  最小分解能 0.01μmまで対応
加圧制御タイプのドライバも対応可

VCMステージ XV002C-4/XV003C-8/XYV003C-8型 仕様

項目 型式
XV002C-4 XV003C-8 XYV003C-8
駆動形態 コイル可動式 コイル可動式 コイル可動式
相・極数 1相・2極 1相・2極 1相・2極
有効ストローク ±2mm ±4mm ±4mm
最大ストローク ±2.2mm ±4.2mm ±4.2mm
コイル線材 2LOCKY1 Φ0.21 2LOCKY1 Φ0.21 2LOCKY1 Φ0.21
コイル巻数 320T 320T 320T
コイル抵抗 8.3Ω±10% 10.3Ω±10% 10.3Ω±10%
インダクタンス 3.14mH±10% 3.38mH±10% 4.24mH±10%
推力定数 2N/A 3N/A 3N/A
ガイド クロスローラガイド クロスローラガイド クロスローラガイド
真直精度 水平:2μm 垂直:2μm 水平:2μm 垂直:2μm 水平:2μm 垂直:2μm
可動部重量 30g 45g 200g
最大搭載荷重(水平使用時) 1kg 1kg 800g
本体重量 約126g 約180g 約400g
最小分解能 1μm、0.5μm、0.1μm選択可

VCMステージ XV015F-10/XV005F-6型 仕様

項目 型式
XV015F-10 XV005F-6 XV005F-6S16
駆動形態 コイル可動式 コイル可動式 コイル可動式
相・極数 1相・6極 1相・4極 1相・4極
有効ストローク ±5mm ±3mm ±3mm
最大ストローク ±7mm ±3.5mm ±3.5mm
コイル線材 平角線材 H種(180℃) 平角線材 H種(180℃) 平角線材 H種(180℃)
コイル巻数 320T 100T 100T
コイル抵抗 7.5Ω±10% 1.5Ω±10% 1.5Ω±10%
インダクタンス 2.73mH±10% 320μH±10% 320μH±10%
推力定数 15N/A 5N/A 5N/A
ガイド クロスローラガイド クロスローラガイド クロスローラガイド
真直精度 水平:2μm 垂直:2μm 水平:2μm 垂直:2μm 水平:2μm 垂直:2μm
可動部重量 130g 105g 125g
最大搭載荷重(水平使用時) 2kg 1kg 1kg
本体重量 約800g 約400g 約400g
最小分解能 1μm、0.5μm、0.1μm選択可

VCMステージ XV025-50/XV030-100型 仕様

項目 Item 型式 Model
XV025-50 XV030-100
ストローク
Stroke
50 mm 100 mm
テーブル寸法
Table Dimension
W 125 × D 100 mm W 175 × D 100 mm
最大推力
Force
25 N (at 24V) 15 N (at 24V)
30 N (at 48V)
真直度精度
Straightness
水平
Horizontal
1.5 μm 2 μm
垂直
Vertical
1.5 μm 2 μm
最小分解能
Resolution
0.0125 μm 0.08 μm
位置決め精度
Positioning accuracy
±0.05 μm ±0.16 μm
最大速度
Speed
320 mm/sec 320 mm/sec
速度ムラ
Uneven speed
1 % 1 %
最大積載荷重
Work Load
10 kgf 10 kgf
本体質量
Weight
4 kg 5.5 kg

外形寸法図

XV030-100型
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