超小型超音波リニアアクチュエータ TULAシリーズ<標準品>

Encoder Type

高精度光学式エンコーダを搭載し、高精度の位置決めが可能。
超音波アクチュエータの特長の一つである高い保持力が得られる。

  1. X軸ステージ
    * XDT35-045 型
    * XDT50-045 型
    * XDT70-105 型
    * XDT70-155 型
  2. XY軸ステージ
    * XYDT50-045 型
  3. θ軸ステージ
    * θDT70-0605 型
    * θDT50-0205 型
  4. XYθ軸ステージ
    * XYDT50-045/θDT70-0605 型
  5. XY軸中空ステージ
    * XYHDT50-045 型

→ オプション販売

TULA series 型式構成

TULAシリーズ型式構成図

標準品仕様

ステージ種類 X軸ステージ XY軸ステージ
型式 XDT35-04□ XDT50-04□ XDT70-10□ XDT70-15□ XYDT50-04□ XYDT70-10□ XYDT70-15□
ストローク、回転角 4mm4mm10mm15mm 4mm10mm15mm
分解能 1pulse : 0.1, 0.5, 1, 5μm
繰返位置決め精度 ±3 pulse
最大推力、トルク 40gf70gf70gf60gf 60gf60gf50gf
保持力 150gf 300gf 250gf
最大速度 10mm/s
駆動用ドライバ TD-102

ステージ種類 θ軸ステージ XYθ軸ステージ XY軸中空ステージ
型式 θDT70-□□□2 θDT50-□□□2 XYDT50-04□/θDT70-□□□2 XYHDT50-04□
ストローク、回転角 60°,120°,180°
240°,360°
20°,60°,90°,140°
180°,280°,300°,360°
4mm /60°,120°,180°,240°,360° 4mm
分解能 1pulse: 0.005° 1pulse: 0.1, 0.5, 1, 5μm /0.005° 1pulse: 0.1, 0.5, 1.5μm
繰返位置決め精度 ±3 pulse
最大推力、トルク 50g・cm40g・cm60gf , 50g・cm60gf
保持力 150g・p130g・p250gf , 150g・p250gf
最大速度 10mm/s
駆動用ドライバ TD-102

※□内の数値は「TULA series 型式構成」を参照ください。

X 軸ステージ XDT35-045 型

仕様

  1. ストローク: 4mm
  2. 分解能: 1μm(A,B,Z 相)
          オプション: 0.1、0.5μm
  3. 繰返位置決め精度: ±3p
  4. 推力: 40gf
  5. 保持力: 150gf
  6. 移動速度: 10mm/s
  7. 駆動用ドライバ: TD-102 型
  8. 駆動用アクチュエータ: TULA35(14mm)

X 軸ステージ XDT50-045 型

仕様

  1. ストローク: 4mm
  2. 分解能: 1μm/p(A,B,Z 相)
           オプション: 0.1、0.5μm/p
  3. 繰返位置決め精度: ±3p
  4. 推力: 70gf
  5. 保持力: 300gf
  6. 移動速度: 10mm/s
  7. 駆動用ドライバ: TD-102 型
  8. 駆動用アクチュエータ: TULA50(16.5mm)

X 軸ステージ XDT70-105 型

仕様

  1. ストローク: 10mm
  2. 分解能: 1μm(A,B,Z 相)
          オプション: 0.1、0.5μm
  3. 繰返位置決め精度: ±3p
  4. 推力: 70gf
  5. 保持力: 300gf
  6. 移動速度: 10mm/s
  7. 駆動用ドライバ: TD-102 型
  8. 駆動用アクチュエータ: TULA70(22mm)

X 軸ステージ XDT70-155 型

仕様

  1. ストローク: 15mm
  2. 分解能: 1μm((A,B,Z 相)
          オプション: 0.1、0.5μm
  3. 繰返位置決め精度: ±3p
  4. 推力: 60gf
  5. 保持力: 300gf
  6. 移動速度: 10mm/s
  7. 駆動用ドライバ: TD-102 型
  8. 駆動用アクチュエータ: TULA70(22mm)

XY 軸ステージ XYDT50-045 型

仕様

  1. ストローク: XY 4mm
  2. 分解能: 1μm(A,B,Z 相)
          オプション: 0.1、0.5μm
  3. 繰返位置決め精度: ±3p
  4. 推力: 60gf
  5. 保持力: 300gf
  6. 移動速度: 10mm/s
  7. 駆動用ドライバ: TD-102 型
  8. 駆動用アクチュエータ: TULA50(16.5mm)

θ軸ステージ θDT70-0605 型

仕様

  1. 回転角: 60°
    オプション: 120°、180°、240°、360°
  2. 分解能: 0.005°/p(ABZ 相)
  3. 繰返位置決め精度: ±3p (±0.015°)
  4. トルク: 50g・cm
  5. 保持トルク: 150g・cm
  6. 駆動用ドライバ:TD-102 型
  7. 駆動用アクチュエータ: TULA70(22mm)
  8. 中空(貫通)穴径:Φ6

θ軸ステージ θDT50-0205 型

仕様

  1. 回転角: 20°
    オプション: 20、60、90、140、180、260、300、360°
  2. 分解能: 0.005°/p(ABZ 相)
  3. 繰返位置決め精度: ±3p (±0.015°)
  4. トルク: 40g・cm
  5. 保持トルク: 130g・cm
  6. 駆動用ドライバ:TD-102 型
  7. 駆動用アクチュエータ: TULA50(16.5mm)
  8. 中空(貫通)穴径:Φ3

XYθ軸ステージ XYDT50-045/θDT70-0605 型

仕様

  1. 移動量: XY 4mm、θ 60°
    オプション: 120°、180°、240°、360°
  2. 分解能: XY 1μm/p(ABZ 相)
         0.005°/p(ABZ 相)
  3. 繰返位置決め精度: ±3p(XY ±3μm、θ ±0.015°)
  4. 推力: 60gf、50g・cm
  5. 保持トルク: 250gf、150g・cm
  6. 移動速度: 10mm/s
  7. 駆動用ドライバ:TD-102 型
  8. 駆動用アクチュエータ: TULA50(16.5mm)、TULA70(22mm)

XY 軸中空ステージ XYHDT50-045 型

仕様

  1. ストローク: XY 4mm
  2. 分解能: 1μm(A,B,Z 相)
          オプション: 0.1、0.5μm
  3. 繰返位置決め精度: ±3p
  4. 推力: 60gf
  5. 保持力: 250gf
  6. 移動速度: 10mm/s
  7. 駆動用ドライバ: TD-102 型
  8. 駆動用アクチュエータ: TULA50(16.5mm)

Open Type

フィンガーユニット FUT70-3型

仕様

  1. 最大開け時ストローク: 3mm
  2. 推力: 20gf
  3. 保持力: 70gf
  4. 制御 : パルスとコマンド制御

※カスタマイズで設計可能

option品:JOG controller(open駆動)

オプション販売

(1) モータケーブル 1m
型番: TMCA1MJ

ステージとドライバ接続用の
専用モータケーブル

(2) エンコーダケーブル 1m
型番: TECA1MJ

ステージとドライバ接続用の
専用エンコーダケーブル

(3) ACアダプタ 型番:TAC5V
USBケーブル(型番:TUSB1M)付属

ドライバへの5V電源供給用ACアダプタ
(PCとドライバ接続用USB ケーブル付属)

(4) RS232C用ケーブル 1m
型番: TRCA1MJ

ドライバとPC接続用RS232Cケーブル

(5) パルス列入力用ケーブル 1m
型番: TPCA1MJ

パルス列入力制御用のケーブル

お問い合わせ

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