VCMステージ

VCMステージ

  • ボイスコイルモータの特長と弊社エンコーダを搭載した推力と駆動電流の直線性に加え、高精度位置決めを実現し、小型・薄型・高速・高精度・高推力を備えたVCMステージ。
  • VCM(Voice Coil Motor)は、可動部が軽くダイレクトドライブ制御で、ボールネジのピッチムラがなく、一般アクチュエータよりも高速移動が可能で、DCモータと同様に制御回路が簡素化されアナログ(電圧)入力も可能。
  • 平角コイルを使用したフラットコイル式を採用し、弊社従来品より15%以上推力アップを実現。

※ドライバは、カタログ参照ください。

  VCMステージX軸 XV002C-4 VCMステージX軸 XV003C-8 VCMステージXY軸 XYV003C-8
型式 X軸 X軸 XY軸
XV002C-4 XV003C-8 XYV003C-8
駆動形態 コイル可動式
有効ストローク ±2mm ±4mm ±4mm
最大搭載荷重(水平使用時) 500g 500g 500g
最小分解能 1μm、0.5μm、0.1μm 選択可
推力定数 2N/A 3N/A 3N/A
コイル抵抗 8.3Ω±10% 10.3Ω±10% 10.3Ω±10%
インダクタンス 3.14mH±10% 3.38mH±10% 4.24mH±10%
可動部重量 30g 45g 200g
ガイド クロスローラガイド
外観寸法 42×56×13.1mm 50×61×13.1mm 50×61×24mm
本体重量 約126g 約180g 約400g
  VCMステージX軸 XV015F-10 VCMステージX軸 XV005F-6 VCMステージX軸 XV005F-6S16
型式 X軸 X軸 産業用AFユニット
XV015F-10 XV005F-6 XV005F-6S16
駆動形態 コイル可動式
有効ストローク ±5mm ±3mm ±3mm
最大搭載荷重(水平使用時) 1kg 1kg 1kg
最小分解能 1μm、0.5μm、0.1μm 選択可
推力定数 15N/A 5N/A 5N/A
コイル抵抗 7.5Ω±10% 1.5Ω±10% 1.5Ω±10%
インダクタンス 2.73mH±10% 320μH±10% 320μH±10%
可動部重量 130g 105g 125g
ガイド クロスローラガイド
外観寸法 81×92×34.5mm 70×76×31.1mm 70×76×61.1mm
本体重量 約800g 約400g 約400g

高速スキャンニング用ステージ

モータ:Phoenix contact社製 エンコーダ:JST社製

  高速スキャンニング用ステージ MVX1.3-5.0/0.1 高速スキャンニング用ステージ MVX2-30/.01 高速スキャンニング用ステージ MVXY2-30/0.1
型式 X軸 X軸 XY軸
MVX1.3-5.0/0.1 MVX2-30/.01 MVXY2-30/0.1
駆動形態 コイル可動式
有効ストローク 5mm ±15mm ±15mm
最大搭載荷重(水平使用時) 200g 350g 100g
最小分解能 0.1μm
推力定数 1.3N/A 1.3N/A 1.3N/A
コイル抵抗 4Ω±10% 1.4Ω±10% 1.4Ω±10%
インダクタンス 0.25mH±10% 0.2mH±10% 0.2mH±10%
可動部重量 12g 20g 20g
ガイド リニアガイド クロスローラガイド
外観寸法 40×22×12mm 65×65×13.5mm 65×65×27mm
本体重量 約37g 約245g 約485g
  高速スキャンニング用ステージ XV007F-14 高速スキャンニング用ステージ XYV007F-14
型式 X軸 XY軸
XV007F-14 XYV007F-14
駆動形態 コイル可動式
有効ストローク ±7mm ±7mm
最大搭載荷重(水平使用時) 1kg 700g
最小分解能 0.1μm
推力定数 7.5N/A 7.5N/A
コイル抵抗 13.5Ω±10% 13.5Ω±10%
インダクタンス 3mH±10% 3mH±10%
可動部重量 43g 310g
ガイド クロスローラガイド
外観寸法 65×55×18mm 65×65×36mm
本体重量 約270g 約540g

※ドライバは、カタログ参照ください。