リニアモータステージ(マグネット可動型)

薄型・高精度のリニアモータ内蔵ステージ

  • マグネット駆動方式のコアレスリニアモータを内蔵し本体可動部のハーネス無し。
  • 精密クロスローラガイドを採用しコンパクトな設計で薄型・高精度・高信頼性のステージ。
  • 光学式の非接触小型リニアエンコーダを採用し、完全クローズドループで超低速から高速領域を高精度に制御可能。
  • 超小型ドライバとの組み合わせで省スペースを達成し、入力信号はアナログ・パルス列コマンド(RS232C)入力が可能。
  • 完成度の高い対話型のオートチューニングは 専門知識が無くても容易にステージの特性を得られ、装置を短期間で立ち上げ可能。
  • オーバーランリミット、原点近傍、加熱保護は標準装備。
XL50-001
リニアモータステージ(マグネット可動型)XL50-001
XL50YL50-001
リニアモータステージ(マグネット可動型)XL50YL50-001
  XL50-001型 XL50YL50-001型
Xステージ X-Yステージ
ストローク 50mm 各軸50mm
テーブル寸法 W : 117 × D : 106 mm W : 117 × D : 106 mm
本体高さ 26mm 52mm
推力定数 5N/A 各軸 5N/A
最大推力 25N (@24V) 各軸 25N (@24V)
進捗精度(水平/垂直) 1μm / 1μm
最小分解能 0.1μm(OP:0.05μm)
位置決め精度 ±0.2μm
最大積載重量 5 Kg 2.7 Kg
本体質量 2.3 Kg 4.6Kg

透過を要求する高精度顕微鏡などの位置決めに最適 ステージ

  • 駆動系にリニアモータ、ガイドにはクロスローラガイド、位置センサには光学式リニアエンコーダを組み込んだダイレクトドライブ方式。
  • クローズドループ制御により高分解能、高再現性を達成。
  • ステージ中央部にφ100mmの開口部を設けた薄型のX・Yステージ。
  • 専用コントローラボードにより位置情報と測定データをPCIバスにてHDDにリアルタイム同期・記録し、データ解析が出来、連続データの取込みが可能。
  • レーザセンサ、CCDカメラと複合し、画像処理も対応可能。
  X150Y150-101型
ストローク ±75mm(X軸・Y軸)
テーブル寸法 W : 290 × D : 290 mm
開口部 φ100mm
駆動系 コアレスリニアモータ
ガイド クロスローラガイド
最小分解能 0.1μm(OP:0.01μm)
位置決め精度 ±0.2μm
最大推力 20N (Max)
最大速度 200mm/sec
耐荷重 30N (Max)
材質 アルミ合金
本体質量 約 8Kg
X150Y150-101
リニアモータステージ(マグネット可動型)X150Y150-101