直動モータシリーズ

ボイスコイルモータ
ボイスコイルモータ
軸方向に対して直線上に動作する円筒型のボイスコイルモータ
短尺ストロークで応答性を上げられるVCMユニット
1コイルでコイル転流回路が不要でコギングレスで
円筒型 AVMシリーズ と ステージ応用 MGVシリーズを用意。    

ボイスコイルモータ

リニアモータモジュール
(コアレス型)
リニアモータモジュール(コアレス型)
容易に組み込み可能なリニアモータモジュール
独自の巻線仕様によりコイル長を短く、そのため同軸複数制御においてもストロークを大きくとることができ、高推力を実現したリニアモータモジュールです。    

リニアモータモジュール(コアレス型)

リニアモータモジュール
(コア付型)
リニアモータモジュール(コア付型)
コア付高トルクリニアモータモジュール
コア付のダイレクトドライブブラシレス構造    

リニアモータモジュール(コア付型)

リニアモータステージ
(コイル可動型)
リニアモータステージ(コイル可動型)
短尺コイルで高推力リニアモータを採用したステージ
ダイレクトドライブ構造でバックラッシュがなく、高剛性、高精度。
独自のリニアモータ機構により、最大加速8G、最大速度5m/secの短軸リニアステージ。    

リニアモータモステージ(コイル可動型)

リニアモータステージ
(マグネット可動型)
リニアモータステージ(マグネット可動型)
マグネット可動型リニアモータで、ケーブルベアが不要
精密クロスローラガイドを採用し、コンパクトは設計で薄型・高精度、高信頼性のステージです。    

リニアモータモステージ(マグネット可動型)

VCMステージ
VCMステージ
単相モータで推力リップルがなく高精度
ボイスコイルモータをステージの重心側に内蔵したコンパクト設計
平角コイルを使ったフラットコイル式を採用し、推力15%以上アップ(当社比)    

VCMステージ

Z-θユニット
Z-θユニット
高精度ピック&プレース用ユニット
Z軸とθ軸を一体型にしたリニアロータリアクチュエータです。
回転シャフトには、バキュームラインを設けており部品を吸着して搬送できます。    

Z-θユニット