회전 스테이지
TULA 초음파 모터를 탑재한 초소형·고정밀 회전 스테이지. 실축(θDT/θMDT)과 중공축(θHDT) 6 기종 라인업. 0.005° 고분해능과 무통전 유지를 실현.
특징
- 고분해능 0.005°/펄스
- 반복 위치 결정 정밀도 ±0.015°
- 무통전 시에도 셀프 로크 유지
- 실축·중공축 전 6 기종
실축 회전 스테이지
TULA50 또는 TULA70 액추에이터 2개를 사용한 실축 θ 스테이지. 테이블 사이즈 φ15~φ22mm.
실축 회전 스테이지
| 모델 | θDT50 | θDT70 | θMDT50 |
|---|---|---|---|
| 회전 각도 | 20°/60°/90°/140°/180°/260°/300°/360° ※ | 60°/120°/180°/240°/360° ※ | 60°/120°/180°/240°/360° ※ |
| 분해능 | 0.005°/펄스 | 0.005°/펄스 | 0.005°/펄스 |
| 반복 위치 결정 정밀도 | ±3 펄스 | ±3 펄스 | ±3 펄스 |
| 토크 | 40g·cm | 50g·cm | 40g·cm |
| 보지력 | 130g·cm | 150g·cm | 150g·cm |
| 중량 | 10g | 19g | 8g |
| 구동 액추에이터 | TULA50 × 2 | TULA70 × 2 | TULA50 × 2 |
중공축 회전 스테이지
φ10.5~φ31mm 중공경을 갖는 θ 스테이지. 광학계·배선 통과 용도에 최적.
중공축 회전 스테이지
| 모델 | θHDT70-H10 | θHDT70-H20 | θHDT70-H30 |
|---|---|---|---|
| 회전 각도 | 360° | 360° | 360° |
| 중공경 | φ10.5mm | φ22mm | φ31mm |
| 분해능 | 0.005°/펄스 | 0.005°/펄스 | 0.005°/펄스 |
| 반복 위치 결정 정밀도 | ±3 펄스 | ±3 펄스 | ±3 펄스 |
| 토크 | 50g·cm | 50g·cm | 50g·cm |
| 보지력 | 150g·cm | 150g·cm | 150g·cm |
| 중량 | 15g | 58g | 70g |
| 구동 액추에이터 | TULA70 × 2 | TULA70 × 2 | TULA70 × 2 |