직동·XY 스테이지

TULA 초음파 모터를 탑재한 초소형·고정밀 직동／XY 스테이지. 1축·2축 표준형부터 크로스 롤러 가이드, 리니어 가이드, 중공 타입까지 15 기종 라인업. 최소 0.1μm 분해능과 무통전 유지를 실현.

X축 스테이지 (표준형)

TULA35／50／70 액추에이터 2개를 사용한 표준 1축 직동 스테이지. 분해능은 0.1／0.5／1.0／5.0μm에서 선택할 수 있으며, 0.1μm 선택 시 반복 위치 결정 정밀도는 ±5 펄스가 됩니다.

XDT35-045

XDT50-045

XDT70-105

XDT70-155

모델	XDT35-045	XDT50-045	XDT70-105	XDT70-155
스트로크	4mm	4mm	10mm	15mm
분해능	1.0μm	1.0μm	1.0μm	1.0μm
선택 가능 분해능	—	0.1 / 0.5 / 1.0 / 5.0μm	0.1 / 0.5 / 1.0 / 5.0μm	0.1 / 0.5 / 1.0 / 5.0μm
반복 위치 결정 정밀도	±3 펄스	±3 펄스	±3 펄스	±3 펄스
추력	40gf	70gf	70gf	60gf
보지력	150gf	300gf	300gf	300gf
중량	약8g	약11g	약13g	약14g
테이블 사이즈	18×22mm	22×26mm	22×26mm	22×26mm
구동 액추에이터	TULA35 × 2	TULA50 × 2	TULA70 × 2	TULA70 × 2

크로스 롤러 가이드를 채용하여 강성과 진직도를 높인 1축 스테이지. 표준형보다 큰 테이블과 높은 추력을 확보했습니다.

XCWT70-105

XCWT70-155

대형 TULA70W 액추에이터 1개와 크로스 롤러 가이드 2개를 조합한 스트로크 ±12.5mm의 롱 스트로크 사양. ABZ상 엔코더를 탑재합니다.

XCTW70-255

0.1μm/펄스의 ABZ상 엔코더를 표준 탑재하여 반복 위치 결정 정밀도 ±0.5 펄스를 실현한 고정밀 타입. 0.5／1.0／5.0μm 선택 시 반복 위치 결정 정밀도는 ±3 펄스가 됩니다. XMDT50-057은 중량 약 5g의 초소형 모델입니다.

XLGT70-157

XMDT50-057

X축 스테이지를 2단으로 겹친 2축 구성. 액추에이터 4개를 사용하여 X／Y 각 축을 독립적으로 제어할 수 있습니다. 분해능은 0.1／0.5／1.0／5.0μm에서 선택 가능합니다.

XYDT50-045

XYDT70-105

XYDT70-155

모델	XYDT50-045	XYDT70-105	XYDT70-155
스트로크	4mm	10mm	15mm
분해능	1.0μm	1.0μm	1.0μm
선택 가능 분해능	0.1 / 0.5 / 1.0 / 5.0μm	0.1 / 0.5 / 1.0 / 5.0μm	0.1 / 0.5 / 1.0 / 5.0μm
반복 위치 결정 정밀도	±3 펄스	±3 펄스	±3 펄스
추력	60gf	60gf	50gf
보지력	250gf	250gf	250gf
중량	약22g	약26g	약28g
테이블 사이즈	22×26mm	22×26mm	22×26mm
구동 액추에이터	TULA50 × 4	TULA70 × 4	TULA70 × 4

크로스 롤러 가이드를 채용한 2축 스테이지. 표준형보다 높은 강성과 추력을 갖추어 중량물 위치 결정에 적합합니다.

XYCWT70-105

XYCWT70-155

테이블 중앙에 φ23의 유효 중공부를 마련한 2축 스테이지. 하부 조명·관찰이나 광로·배관의 배선이 필요한 광학계에 적합합니다.

XYHDT50-045