LM 스테이지（마그넷 가동형）
박형·고정밀 리니어 모터 내장 스테이지. 마그넷 구동 방식 코어리스 리니어 모터를 내장하여 본체 가동부의 하니스 불필요. 정밀 크로스 롤러 가이드 채용으로 컴팩트한 설계로 박형·고정밀·고신뢰성.
특징
- 마그넷 가동·하네스 프리
- 정밀 크로스 롤러 가이드
- 완전 클로즈드 루프 제어
- 위치 결정 정밀도 ±0.2μm
XL50-001（박형 리니어 스테이지）
XL50-001 사양
사양 PDF| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 스트로크 | 50mm |
| 테이블 치수 | W: 117 × D: 106 mm |
| 높이 | 26mm |
| 추력 상수 | 5N/A |
| 최대 추력 (@24V) | 25N |
| 精度（水平/垂直） | 1μm / 1μm |
| 최소 분해능 | 0.1μm（옵션：0.05μm） |
| 위치 결정 정밀도 | ±0.2μm |
| 최대 탑재 하중 | 5kg |
| 본체 질량 | 2.3kg |
| 駆動方式 | 코어리스 리니어 모터（마그넷 가동） |
| 가이드 | 정밀 크로스 롤러 |
XL50YL50-001（X-Y 리니어 스테이지）
XL50YL50-001 사양
사양 PDF| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 스트로크 | 各軸50mm |
| 테이블 치수 | W: 117 × D: 106 mm |
| 높이 | 52mm |
| 추력 상수 | 各軸5N/A |
| 최대 추력 (@24V) | 各軸25N |
| 최소 분해능 | 0.1μm（옵션：0.05μm） |
| 위치 결정 정밀도 | ±0.2μm |
| 최대 탑재 하중 | 2.7kg |
| 본체 질량 | 4.6kg |
| 駆動方式 | 코어리스 리니어 모터（마그넷 가동） |
| 가이드 | 정밀 크로스 롤러 |
X150Y150-101（고정밀 현미경용 개구형 X-Y 스테이지）
테이블 중앙에 φ100mm 개구부를 가진 박형 X-Y 스테이지. 고정밀 현미경 위치 결정에 최적화. 구동: 리니어 모터, 가이드: 크로스 롤러, 위치 센서: 광학식 리니어 인코더의 완전 다이렉트 드라이브 클로즈드 루프.
X150Y150-101 사양
사양 PDF| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 스트로크 | ±75mm（X·Y축） |
| 테이블 치수 | W: 290 × D: 290 mm |
| 애퍼처 | φ100mm |
| 駆動方式 | 코어리스 리니어 모터 |
| 가이드 | 크로스 롤러 가이드 |
| 최소 분해능 | 0.1μm（옵션：0.01μm） |
| 위치 결정 정밀도 | ±0.2μm |
| 최대 추력 | 20N |
| 최대 속도 | 200mm/sec |
| 최대 탑재 하중 | 30N |
| 재질 | 알루미늄 합금 |
| 본체 질량 | 約8kg |