LM 스테이지（마그넷 가동형）
박형·고정밀 리니어 모터 내장 스테이지. 마그넷 구동 방식 코어리스 리니어 모터를 내장하여 본체 가동부의 하니스 불필요. 정밀 크로스 롤러 가이드 채용으로 컴팩트한 설계로 박형·고정밀·고신뢰성.
특징
- 마그넷 가동·하네스 프리
- 정밀 크로스 롤러 가이드
- 완전 클로즈드 루프 제어
- 위치 결정 정밀도 ±0.2μm
XL50-001（X軸ステージ）
XL50-001 仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ストローク | 50mm |
| テーブル寸法 | W: 117 × D: 106 mm |
| 高さ | 26mm |
| 推力定数 | 5N/A |
| 最大推力 (@24V) | 25N |
| 精度（水平/垂直） | 1μm / 1μm |
| 最小分解能 | 0.1μm（オプション: 0.05μm） |
| 位置決め精度 | ±0.2μm |
| 最大搭載荷重 | 5kg |
| 本体質量 | 2.3kg |
| 駆動方式 | コアレスリニアモータ（マグネット可動） |
| ガイド | 精密クロスローラ |
XL50YL50-001（XYステージ）
XL50YL50-001 仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ストローク | 各軸50mm |
| テーブル寸法 | W: 117 × D: 106 mm |
| 高さ | 52mm |
| 推力定数 | 各軸5N/A |
| 最大推力 (@24V) | 各軸25N |
| 最小分解能 | 0.1μm（オプション: 0.05μm） |
| 位置決め精度 | ±0.2μm |
| 最大搭載荷重 | 2.7kg |
| 本体質量 | 4.6kg |
| 駆動方式 | コアレスリニアモータ（マグネット可動） |
| ガイド | 精密クロスローラ |
X150Y150-101（光学アパーチャ付XYステージ）
透過を要求する高精度顕微鏡などの位置決めに最適なステージ。PCIバスによるリアルタイムデータ記録、レーザーセンサやCCDカメラとの連携が可能。
X150Y150-101 仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ストローク | ±75mm（X・Y軸） |
| テーブル寸法 | W: 290 × D: 290 mm |
| アパーチャ | φ100mm |
| 駆動方式 | コアレスリニアモータ |
| ガイド | クロスローラガイド |
| 最小分解能 | 0.1μm（オプション: 0.01μm） |
| 位置決め精度 | ±0.2μm |
| 最大推力 | 20N |
| 最大速度 | 200mm/sec |
| 最大搭載荷重 | 30N |
| 材質 | アルミ合金 |
| 本体質量 | 約8kg |