直线电机平台（磁铁可动型）
薄型高精度内置线性电机平台。内置磁铁驱动方式的无铁芯线性电机，可动部无线束。采用精密交叉滚子导轨，紧凑设计实现薄型、高精度、高可靠性。
特点
- 磁铁驱动·无线束
- 精密交叉滚子导轨
- 全闭环控制
- 定位精度±0.2μm
XL50-001（薄型直线平台）
XL50-001 规格
规格 PDF| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 行程 | 50mm |
| 台面尺寸 | W: 117 × D: 106 mm |
| 高度 | 26mm |
| 推力常数 | 5N/A |
| 最大推力 (@24V) | 25N |
| 精度（水平/垂直） | 1μm / 1μm |
| 最小分辨率 | 0.1μm（选配：0.05μm） |
| 定位精度 | ±0.2μm |
| 最大搭载负载 | 5kg |
| 本体质量 | 2.3kg |
| 駆動方式 | 无芯直线电机（磁铁可动） |
| 导轨 | 精密交叉滚柱 |
XL50YL50-001（X-Y 直线平台）
XL50YL50-001 规格
规格 PDF| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 行程 | 各軸50mm |
| 台面尺寸 | W: 117 × D: 106 mm |
| 高度 | 52mm |
| 推力常数 | 各軸5N/A |
| 最大推力 (@24V) | 各軸25N |
| 最小分辨率 | 0.1μm（选配：0.05μm） |
| 定位精度 | ±0.2μm |
| 最大搭载负载 | 2.7kg |
| 本体质量 | 4.6kg |
| 駆動方式 | 无芯直线电机（磁铁可动） |
| 导轨 | 精密交叉滚柱 |
X150Y150-101（高精度显微镜用大开口 X-Y 平台）
台面中央设有 φ100mm 开口的薄型 X-Y 平台，适用于高精度显微镜定位。驱动采用直线电机，导轨采用交叉滚柱，位置反馈采用光学直线编码器，完全直接驱动闭环。
X150Y150-101 规格
规格 PDF| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 行程 | ±75mm（X·Y 轴） |
| 台面尺寸 | W: 290 × D: 290 mm |
| 通光孔 | φ100mm |
| 駆動方式 | 无芯直线电机 |
| 导轨 | 交叉滚柱导轨 |
| 最小分辨率 | 0.1μm（选配：0.01μm） |
| 定位精度 | ±0.2μm |
| 最大推力 | 20N |
| 最大速度 | 200mm/sec |
| 最大搭载负载 | 30N |
| 材质 | 铝合金 |
| 本体质量 | 約8kg |