直线电机平台（磁铁可动型）
薄型高精度内置线性电机平台。内置磁铁驱动方式的无铁芯线性电机，可动部无线束。采用精密交叉滚子导轨，紧凑设计实现薄型、高精度、高可靠性。
特点
- 磁铁驱动·无线束
- 精密交叉滚子导轨
- 全闭环控制
- 定位精度±0.2μm
XL50-001（X軸ステージ）
XL50-001 仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ストローク | 50mm |
| テーブル寸法 | W: 117 × D: 106 mm |
| 高さ | 26mm |
| 推力定数 | 5N/A |
| 最大推力 (@24V) | 25N |
| 精度（水平/垂直） | 1μm / 1μm |
| 最小分解能 | 0.1μm（オプション: 0.05μm） |
| 位置決め精度 | ±0.2μm |
| 最大搭載荷重 | 5kg |
| 本体質量 | 2.3kg |
| 駆動方式 | コアレスリニアモータ（マグネット可動） |
| ガイド | 精密クロスローラ |
XL50YL50-001（XYステージ）
XL50YL50-001 仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ストローク | 各軸50mm |
| テーブル寸法 | W: 117 × D: 106 mm |
| 高さ | 52mm |
| 推力定数 | 各軸5N/A |
| 最大推力 (@24V) | 各軸25N |
| 最小分解能 | 0.1μm（オプション: 0.05μm） |
| 位置決め精度 | ±0.2μm |
| 最大搭載荷重 | 2.7kg |
| 本体質量 | 4.6kg |
| 駆動方式 | コアレスリニアモータ（マグネット可動） |
| ガイド | 精密クロスローラ |
X150Y150-101（光学アパーチャ付XYステージ）
透過を要求する高精度顕微鏡などの位置決めに最適なステージ。PCIバスによるリアルタイムデータ記録、レーザーセンサやCCDカメラとの連携が可能。
X150Y150-101 仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ストローク | ±75mm（X・Y軸） |
| テーブル寸法 | W: 290 × D: 290 mm |
| アパーチャ | φ100mm |
| 駆動方式 | コアレスリニアモータ |
| ガイド | クロスローラガイド |
| 最小分解能 | 0.1μm（オプション: 0.01μm） |
| 位置決め精度 | ±0.2μm |
| 最大推力 | 20N |
| 最大速度 | 200mm/sec |
| 最大搭載荷重 | 30N |
| 材質 | アルミ合金 |
| 本体質量 | 約8kg |